[发明专利]用于太赫兹功能器件的设计方法及装置

权利要求书

1.用于太赫兹功能器件的设计方法，其特征在于，包括以下内容：

获取技术要求，根据技术要求和预设的器件模板生成器件基本框图；获取结构参数，以及结构参数对应的最优数值；

根据最优数值和器件基本框图进行数值模拟验证，若验证通过，则根据最优数值和器件基本框图进行器件加工；

根据技术要求对加工后的器件进行性能测试，若性能测试未通过，则对最优数值、数值模拟验证、器件加工进行分析，根据分析结果优化最优数值、数值模拟验证、器件加工中的一种或多种，直到性能测试通过。

2.根据权利要求1所述的用于太赫兹功能器件的设计方法，其特征在于，结构参数包括设定参数和可变参数，获取结构参数对应的最优数值，包括以下内容：

获取设定参数的参数值；

获取参数范围，根据参数扫描方法在参数范围中获取可变参数的最优数值。

3.根据权利要求2所述的用于太赫兹功能器件的设计方法，其特征在于：对最优数值、数值模拟验证、器件加工进行分析，包括以下内容：

根据参数扫描方法再次获取结构参数的最优数值，对比两次最优数值；

根据最优数值和器件基本框图再次进行数值模拟验证，对比两次验证结果；

根据结构参数获取加工后器件的实际数值，对比实际数值和最优数值。

4.根据权利要求3所述的用于太赫兹功能器件的设计方法，其特征在于：分析结果包括数值分析结果、验证分析结果和加工分析结果，根据分析结果优化最优数值、数值模拟验证、器件加工中的一种或多种，包括以下内容：

对比数值分析结果、验证分析结果和加工分析结果筛选误差最大的分析结果，根据筛选出的分析结果所对应的最优数值、数值模拟验证或器件加工进行优化。

5.根据权利要求1所述的用于太赫兹功能器件的设计方法，其特征在于：数值模拟验证时，通过Matlab、ComsolMultiphyscis、MPB和MEEP中的一种或多种进行数值模拟验证。

6.根据权利要求1所述的用于太赫兹功能器件的设计方法，其特征在于：器件加工时，通过激光打孔、激光切划和离子刻蚀中的一种或多种进行器件加工。

7.根据权利要求6所述的用于太赫兹功能器件的设计方法，其特征在于，还包括以下内容：

若性能测试未通过，获取并存储加工后器件的器件信息；

在器件加工前还包括以下内容：

根据最优数值和器件信息进行匹配，当存在匹配项时，根据最优数值和器件基本框图对匹配的器件进行器件加工。

8.根据权利要求7所述的用于太赫兹功能器件的设计方法，其特征在于：器件信息包括结构参数，结构参数包括晶体间距；根据最优数值和器件信息进行匹配时，根据晶体间距进行匹配。

9.用于太赫兹功能器件的设计装置，其特征在于：包括上位机、加工设备和测试设备，上位机用于执行权利要求1-8任一项所述的用于太赫兹功能器件的设计方法；

其中，上位机用于控制加工设备根据最优数值和器件基本框图进行器件加工，还用于控制测试设备根据技术要求对加工后的器件进行性能测试。

10.根据权利要求9所述的用于太赫兹功能器件的设计装置，其特征在于：测试设备包括信号发生模块和多个信号接收模块，信号发生模块用于产生信号，并输入加工后的器件，信号接收模块用于接收经加工后器件输出的信号。