[发明专利]一种频点可调的吸波器单元结构、吸波器件及其制备方法在审
申请号: | 202111682208.2 | 申请日: | 2021-12-28 |
公开(公告)号: | CN114552230A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 陈磊 | 申请(专利权)人: | 杭州灵芯微电子有限公司 |
主分类号: | H01Q17/00 | 分类号: | H01Q17/00 |
代理公司: | 上海慧晗知识产权代理事务所(普通合伙) 31343 | 代理人: | 周冬文 |
地址: | 310020 浙江省杭州市钱塘*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 可调 吸波器 单元 结构 器件 及其 制备 方法 | ||
1.一种频点可调的吸波器单元结构,其特征在于,包括:
金属结构层:所述金属结构层中设有凹槽;
液晶结构层:所述液晶结构层嵌入在所述凹槽中;
电极板组件:所述电极板组件包括设置于所述金属结构层顶部的上电极板和设置于所述金属结构层底部的下电极板;
所述上电极板覆盖整个所述金属结构层的顶部,与所述金属结构层和所述液晶结构层接触;
所述下电极板覆盖整个所述金属结构层的底部,与所述金属结构层和所述液晶结构层接触。
2.根据权利要求1所述的频点可调的吸波器单元结构,其特征在于,所述吸波器单元结构还包括设置于所述上电极板上的顶层透明基板和设置于所述下电极板底部的底层透明基板。
3.根据权利要求1所述的频点可调的吸波器单元结构,其特征在于,所述液晶结构层折射率n的变化范围为1.54-1.94。
4.根据权利要求1所述的频点可调的吸波器单元结构,其特征在于,所述液晶结构层为十字形状,所述十字形的中心交叉点位于所述金属结构层的中心。
5.根据权利要求4所述的频点可调的吸波器单元结构,其特征在于,所述液晶结构层包括水平方向的第一矩形结构以及垂直方向的第二矩形结构,所述第一矩形结构与所述第二矩形结构相交成十字形状;且所述第一矩形结构与所述第二矩形结构的大小相同,所述第一矩形结构与所述第二矩形结构的长度为160-180μm,宽度为30-50μm。
6.根据权利要求1所述的频点可调的吸波器单元结构,其特征在于,所述金属结构层的形状为正方形,其边长为260-280μm。
7.根据权利要求1或6所述的频点可调的吸波器单元结构,其特征在于,所述液晶结构层和所述金属结构层的厚度相同,其厚度为5-25μm。
8.一种频点可调的吸波器件,其特征在于,包括若干个如权利要求1-5任一项所述的吸波器单元结构组成的吸波器阵列。
9.根据权利要求8所述的频点可调的吸波器件,其特征在于,所述吸波器阵列呈N×N阵列排布,其中N为非零正整数。
10.一种频点可调的吸波器单元结构的制备方法,其特征在于,包括:
制备金属结构层,所述金属结构层中设有凹槽;
在所述凹槽中嵌入液晶结构层;
制备电极板组件,其中所述电极板组件包括设置于所述金属结构层顶部的上电极板和设置于所述金属结构层底部的下电极板;所述上电极板覆盖整个所述金属结构层的顶部,与所述金属结构层和所述液晶结构层接触;所述下电极板覆盖整个所述金属结构层的底部,与所述金属结构层和所述液晶结构层接触。
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