[实用新型]一种用于CWDM单粒芯片清洗夹具有效
申请号: | 202120001240.9 | 申请日: | 2021-01-04 |
公开(公告)号: | CN212517136U | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 林跃方 | 申请(专利权)人: | 西安奇芯光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/673;H01L21/687 |
代理公司: | 西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223 | 代理人: | 梁静 |
地址: | 710000 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 cwdm 芯片 清洗 夹具 | ||
1.一种用于CWDM单粒芯片清洗夹具,其特征在于,包括,底座(100),所述底座(100)上表面(101)开设有用于放置芯片的多个盲孔(102),每个所述盲孔(102)的底部开设有通孔(104),每个所述盲孔(102)底部与相应所述通孔(104)的连通处沿内壁周向设有倾斜向上的斜面(103);每个所述通孔(104)的下端口直径大于上端口直径;手持杆(200),设置于所述底座(100)上。
2.根据权利要求1所述的用于CWDM单粒芯片清洗夹具,其特征在于,所述斜面(103)与所述盲孔(102)底面的角度为45°。
3.根据权利要求1所述的用于CWDM单粒芯片清洗夹具,其特征在于,每个所述通孔(104)的内侧面(107)与所述下端口面的角度为45°。
4.根据权利要求1所述的用于CWDM单粒芯片清洗夹具,其特征在于,还包括:多个支撑螺钉(300),均设置于所述底座(100)的底面(106)上。
5.根据权利要求1所述的用于CWDM单粒芯片清洗夹具,其特征在于,所述底座(100)的底面(106)四角处均开设有螺纹孔(108),每个所述螺纹孔(108)上螺接有支撑螺钉(300)。
6.根据权利要求1所述的用于CWDM单粒芯片清洗夹具,其特征在于,所述手持杆(200)与所述底座(100)上表面的几何中心螺纹连接。
7.根据权利要求6所述的用于CWDM单粒芯片清洗夹具,其特征在于,所述手持杆(200)的端面(201)上连接有螺杆(202),所述底座(100)上开设有与所述螺杆(202)相匹配的螺纹通孔(105),所述螺杆(202)螺接于所述螺纹通孔(105)内。
8.根据权利要求7所述的用于CWDM单粒芯片清洗夹具,其特征在于,所述螺杆(202)的直径小于所述手持杆(200)的直径。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造