[实用新型]光学元件多点透射反射率光谱测量装置

权利要求书

1.光学元件多点透射反射率光谱测量装置，其特征在于，包括：

底座(1)；

设于底座(1)上的样品台移动装置；

固定于样品台移动装置上方的样品台(2)；

设于样品台移动装置一侧的旋转臂支撑台(3)；

设于旋转臂支撑台(3)上的旋转臂(4)；所述旋转臂(4)包括光源摆臂(41)和检测摆臂(42)，光源摆臂(41)和检测摆臂(42)均套设于臂轴(43)上，且光源摆臂(41)和检测摆臂(42)均可独立地以臂轴(43)为中心360度旋转；其中，所述光源摆臂(41)上设有光源发出模块(411)，检测摆臂(42)上设有光采集模块(421)；

所述臂轴(43)的中心设有激光发射端(5)，所述底座(1)上，与激光发射端(5)相对的一侧立柱(6)上设有激光接收端(7)；所述激光发射端(5)和激光接收端(7)共同组成水平激光示高模组，用于确定样品的上表面高度。

2.根据权利要求1所述的光学元件多点透射反射率光谱测量装置，其特征在于，所述光源摆臂(41)上依次设有滤光模组(412)和光路准直模组(422)。

3.根据权利要求2所述的光学元件多点透射反射率光谱测量装置，其特征在于，所述检测摆臂上依次设有滤光模组(412)和光路准直模组(422)，或者所述检测摆臂上接有积分球。

4.根据权利要求3所述的光学元件多点透射反射率光谱测量装置，其特征在于，还包括计算控制模块(9)，卤素光源(10)和显示器(13)。

5.根据权利要求4所述的光学元件多点透射反射率光谱测量装置，其特征在于，所述样品台移动装置包括X/Y轴位移模块(11)和Z轴位移模块(12)，所述X/Y轴位移模块(11)用于实现样品台(2)在X/Y轴方向上的位移，Z轴位移模块(12)用于实现样品台(2)在Z轴方向的位移，其中X/Y轴位移模块(11)位于Z轴位移模块(12)上端。

6.根据权利要求5所述的光学元件多点透射反射率光谱测量装置，其特征在于，所述样品台(2)上设有透光孔，所述光源发出模块(411)发出的光通过透光孔被采集模块(421)采集到。

7.根据权利要求6所述的光学元件多点透射反射率光谱测量装置，其特征在于，所述底座(1)上还设有光谱检测分析模块(14)。