[实用新型]一种真空镀膜表面残余灰尘的去除装置有效

专利信息
申请号: 202120006734.6 申请日: 2021-01-04
公开(公告)号: CN214937789U 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 张敏;刘小强 申请(专利权)人: 洛阳微米光电技术有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;B08B6/00
代理公司: 北京久维律师事务所 11582 代理人: 邢江峰
地址: 471000 河南省洛阳市中国(河南)自由贸*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 表面 残余 灰尘 去除 装置
【权利要求书】:

1.一种真空镀膜表面残余灰尘的去除装置,其特征在于:包括无尘箱(1),所述无尘箱(1)内部固定有回旋输送链(2),所述回旋输送链(2)上等间距固定有若干个夹持装置(4),所述无尘箱(1)中部向上凸起,所述无尘箱(1)凸起的腔体内顶部通过螺钉固定有一对新膜固定转筒(6),每个所述新膜固定转筒(6)下方设置有一组导向装置(5),所述无尘箱(1)底部通过螺钉固定有一对卷扬机(3),所述卷扬机(3)与所述新膜固定转筒(6)位置对应,所述无尘箱(1)两侧内壁上通过螺钉固定有第一固定架(7),所述第一固定架(7)上通过螺钉固定有气缸(8),所述气缸(8)的活塞杆上固定有固定杆(9),所述固定杆(9)端部紧配合固定有压板(10),所述压板(10)对应所述回旋输送链(2)上端的所述夹持装置(4)设置。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜表面残余灰尘的去除装置,其特征在于:每组所述导向装置(5)包括四根导向杆,所述导向装置(5)通过第二固定架(11)固定在所述第一固定架(7)上,四根导向杆上下分布,中部的两根导向杆处于同一竖直面上,中部的两根导向杆位于所述压板(10)上下两端。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜表面残余灰尘的去除装置,其特征在于:所述夹持装置(4)包括底座(41),所述底座(41)下表面成型有固定耳(44),所述固定耳(44)上成型有便于固定的安装孔,所述底座(41)上表面两端焊接有两块立板(42),所述立板(42)上通过螺钉固定有弹性夹持器(43)。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜表面残余灰尘的去除装置,其特征在于:所述弹性夹持器(43)包括后固定管(431)和前固定管(432),所述后固定管(431)和所述前固定管(432)通过螺纹安装在一起,所述前固定管(432)靠近所述后固定管(431)的一端外壁上焊接有固定法兰(433),所述后固定管(431)与所述前固定管(432)内部的腔体内设置有压缩弹簧(434),所述压缩弹簧(434)一端设置有支撑杆(435),所述支撑杆(435)滑动安装在所述前固定管(432)上,所述支撑杆(435)外端部固定有弧形橡胶板(436)。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜表面残余灰尘的去除装置,其特征在于:所述压板(10)采用防静电材料制成,每块所述压板(10)后侧安装有至少两个所述气缸(8)。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜表面残余灰尘的去除装置,其特征在于:所述压板(10)的长度不小于所述新膜固定转筒(6)的转筒长度。

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