[实用新型]一种固晶机用框架输送工作台有效
| 申请号： | 202120019060.3 | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN213752646U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 韩飞扬;温炜;朱辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市晨微技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 合肥汇融专利代理有限公司 34141 | 代理人： | 朱朝明 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区西乡街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 固晶机用 框架 输送 工作台 | ||
1.一种固晶机用框架输送工作台，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的上端固定安装有输送带(2)，所述工作台(1)的上端固定连接有支架(3)，所述支架(3)的上端固定安装有吸尘器(4)，所述吸尘器(4)的下端设有吸尘口(5)，所述吸尘口(5)的下端通过伸缩软管(6)固定连接有与输送带(2)上端对应的吸尘管(7)，所述吸尘管(7)与支架(3)之间通过往复机构连接。
2.根据权利要求1所述的一种固晶机用框架输送工作台，其特征在于，所述往复机构包括固定安装在支架(3)侧壁的驱动电机(11)，所述驱动电机(11)的输出轴末端固定连接有往复丝杠(12)，所述往复丝杠(12)的外壁套设有与其配合的丝杠滑块(13)，所述丝杠滑块(13)滑动连接在支架(3)的侧壁，所述丝杠滑块(13)通过连接板(14)与吸尘管(7)的侧壁固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种固晶机用框架输送工作台，其特征在于，所述支架(3)的上端固定连接有四个矩形分布的滑杆(8)，四个所述滑杆(8)的外壁均滑动套设有套筒(9)，四个所述套筒(9)与支架(3)之间均通过缓冲弹簧(10)弹性连接，所述吸尘器(4)固定安装在四个套筒(9)的侧壁上。
4.根据权利要求1所述的一种固晶机用框架输送工作台，其特征在于，所述吸尘管(7)的下端侧壁固定连接有与输送带(2)上端平行的吸尘罩(15)，所述吸尘罩(15)的内顶部设有吸尘间隙(16)。
5.根据权利要求3所述的一种固晶机用框架输送工作台，其特征在于，四个所述缓冲弹簧(10)分别套设在四个滑杆(8)的外壁。
6.根据权利要求1所述的一种固晶机用框架输送工作台，其特征在于，所述输送带(2)的外壁设有多个均匀分布的放置槽(17)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
