[实用新型]一种晶圆片腐蚀装置

权利要求书

1.一种晶圆片腐蚀装置，其特征在于，包括：

设有药液的槽体；

和用于承载晶圆片的调整机构；

所述调整机构沿所述槽体长度方向并贯穿所述槽体设置；

所述调整机构可控制所述晶圆片原地同心旋转以调整所述晶圆片上V型槽的朝向位置，从而控制所述晶圆片进入所述槽体内和被提取时的状态，使先进入所述槽体中的所述晶圆片的部位被先取出。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片腐蚀装置，其特征在于，所述调整机构包括：

若干间隙设置的调整杆；

和用于控制所述调整杆旋转的驱动源；

在所述调整杆上设有若干用于放置所述晶圆片的卡槽，所述卡槽绕设于所述调整杆外壁面设置；

所述驱动源被置于所述槽体外侧并与所述调整杆的其中一端连接，所述驱动源控制所有所述调整杆同步旋转。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆片腐蚀装置，其特征在于，每个所述调整杆配设有一个所述驱动源，且所有所述驱动源均同侧设置。

4.根据权利要求2或3所述的一种晶圆片腐蚀装置，其特征在于，所述调整杆的数量至少有三个，所述调整杆与所述晶圆片接触的其中一个连接点位于所述晶圆片的最低端，另外两个连接点同高设置并分别位于所述晶圆片的水平直径两端。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆片腐蚀装置，其特征在于，在所述槽体内部设有加热器，所述加热器位于所述槽体底部且位于所述调整杆下方。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆片腐蚀装置，其特征在于，在所述槽体侧壁设有用于测量所述药液温度的温度传感器。

7.根据权利要求2-3、5-6任一项所述的一种晶圆片腐蚀装置，其特征在于，在所述槽体内还设有用于鼓泡的氮气管，所述氮气管沿所述槽体长度方向对称设置在所述调整杆所围成的图形范围外，且位于所述晶圆片的下方。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆片腐蚀装置，其特征在于，所述氮气管长度方向设有若干的排气孔，从所述排气孔排出的氮气朝远离所述晶圆片一侧斜向上喷射。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆片腐蚀装置，其特征在于，从所述排气孔排出的氮气与所述晶圆片纵向轴线的夹角为35-45°。

10.根据权利要求1-3、5-6、8-9任一项所述的一种晶圆片腐蚀装置，其特征在于，还设有用于向所述槽体排所述药液的排液管，所述排液管靠近所述槽体一侧设有电磁阀。