[实用新型]一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置

说明书

本实用新型提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本实用新型过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。

技术领域

本实用新型涉及极紫外光刻机技术领域，尤其是涉及一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置。

背景技术

目前国外对于极紫外光刻机技术处于一种封锁状态，国内在光刻机领域受制约的技术方向很多，在国内多年的EUV光源的研究过程中，金属液滴的形成质量，决定着EUV光源的质量，但目前金属液滴的产生装置受制于技术原型的限制，无法长期稳定地保持金属液滴的形成质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于为解决现有技术的不足，而提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置。

本实用新型新的技术方案是：一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，包括压紧螺母、高速喷头、本体及内腔体，所述的本体包括导热油输入口、导热油输出口、内腔、加热腔及电加热棒，所述的本体外壁下部设有导热油输入口，与导热油输入口相对的本体一侧上部设有导热油输出口；所述的本体设有夹层，且夹层为加热腔，所述的加热腔内填充有导热油，电加热棒一端延伸至所述的加热腔的导热油内，所述的电加热棒另一端通过螺母固定在本体顶部；所述的本体内部中空，且中空处为内腔，所述的内腔内安装有内腔体；所述的内腔体包括顶盖、密封圈A、固定帽、压紧弹簧、过滤帽及输出通道，所述的顶盖通过密封圈A与内腔体顶部螺纹连接，所述的内腔体内壁设有凹槽，且固定帽安装在所述的凹槽内，所述的固定帽顶部与顶盖底部接触，固定帽底部为U型槽，所述的U型槽内固定有压紧弹簧，所述的压紧弹簧底部为过滤帽，所述的过滤帽下部与内腔体内的凹槽固定连接，过滤帽底部连通有输出通道，且输出通道设在内腔体内，所述的输出通道与高速喷头连接，所述的高速喷头通过密封圈B与压紧螺母连接，所述的压紧螺母通过螺纹固定在本体底部。

所述的密封圈A及密封圈B为金属密封圈。

所述的电加热棒为2个。

所述的过滤帽为不锈钢。

所述的过滤帽的过滤孔径在40微米以下。

所述的内腔体为不锈钢，且内腔体内壁涂敷导热纳米涂层。

所述的本体为不锈钢。

所述的本体内壁涂敷导热纳米涂层。

所述的本体外壁涂敷绝热纳米涂层。

所述的高速喷头利用压电陶瓷配合柔性毛细管实现高速开合。

本实用新型的有益效果为：本实用新型过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的立体剖面图。

图3为本体的结构示意图。

图4为内腔体的结构示意图。