[实用新型]一种蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

腔体；

位于所述腔体内的蒸镀源；

位于所述腔体内的样品载板，所述样品载板适于承载待蒸镀基板的边缘区域；

位于所述腔体内的调温板，所述调温板设置于所述样品载板背离所述蒸镀源的一侧，所述调温板中具有间隔的加热管道和冷却管道，所述加热管道内部设置有加热件。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热件包括电阻丝，所述冷却管道中适于通入冷却液。

3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热管道与所述冷却管道相邻且并排设置。

4.根据权利要求1－3任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热管道与所述冷却管道的形状为蛇形，或所述加热管道与所述冷却管道的形状为旋涡形。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述调温板与所述样品载板之间的间距为小于或等于5mm。

6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热管道至所述样品载板的距离等于所述冷却管道至所述样品载板的距离；

或者，所述加热管道至所述样品载板的距离不等于所述冷却管道至所述样品载板的距离，且所述加热管道在所述腔体的底面的投影与所述冷却管道在所述腔体的底面的投影错位或重合。

7.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括：

电源，所述电源设置于所述腔体外，所述电源与所述加热件电学连接；

冷却源，所述冷却源包括循环水箱以及与所述循环水箱连通的冷却液输入管路和冷却液输出管路，所述循环水箱设置于所述腔体外；所述冷却管道具有进液口和出液口；所述冷却液输入管路与所述进液口连通，所述冷却液输出管路与所述出液口连通。

8.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述样品载板的外侧壁有若干齿；

所述蒸镀装置还包括：

伺服电机，所述伺服电机设置于所述腔体外侧；

传动杆，所述传动杆贯穿所述腔体，所述伺服电机与传动杆的一端连接以驱动所述传动杆围绕所述传动杆的中心轴转动，所述传动杆的另一端设置有传送齿轮，所述传送齿轮与所述样品载板的齿相互咬合。

9.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述样品载板包括底板以及与所述底板的侧边连接的侧板，所述侧板垂直于所述底板，所述底板中设置有第一通孔，所述第一通孔的尺寸大于载待蒸镀基板的蒸镀区域。

10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述底板背离所述调温板的一侧设置有第二凹槽；

所述蒸镀装置还包括：

挡板，所述挡板与所述腔体内壁抵接，所述挡板中设置有第二通孔，所述第二通孔的尺寸大于载待蒸镀基板的蒸镀区域；

固定板，所述固定板垂直于所述挡板，所述固定板包括连通的第一段区和第二段区，所述第一段区与所述挡板的内侧边连接，所述第二段区延伸至所述第二凹槽内且与所述底板背离所述调温板的一侧接触；

旋转件，所述旋转件设置于所述第二段区朝向所述第二凹槽的一侧，所述旋转件且与所述第二凹槽的内壁接触。