[实用新型]一种用于测试大直径硅片背面金属含量的机械手有效
| 申请号： | 202120045464.X | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN216067497U | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 周迎朝;由佰玲;邓春星;原宇乐;董楠;武卫;刘建伟;刘园;孙晨光;王彦君;祝斌;刘姣龙;裴坤羽;常雪岩;杨春雪;谢艳;袁祥龙;张宏杰;刘秒;吕莹;徐荣清 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J15/06;B25J19/00;H01L21/677;H01L21/66 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测试 直径 硅片 背面 金属 含量 机械手 | ||
1.一种用于测试大直径硅片背面金属含量的机械手，包括：
机械手本体；
翻转装置，设置在所述机械手本体上，控制所述机械手翻转；
清洁装置，设置在所述机械手本体上，清洁所述机械手本体；
吸附装置，设置在所述机械手本体上，吸附硅片；
其中，所述清洁装置包括水箱和喷水孔，所述水箱设置在所述机械手本体底部；所述喷水孔设置在所述机械手本体的表面，喷水清洁所述机械手本体。
2.根据权利要求1所述的一种用于测试大直径硅片背面金属含量的机械手，其特征在于：所述翻转装置包括转动轴，设置在所述机械手本体的一端，控制所述机械手本体旋转。
3.根据权利要求2所述的一种用于测试大直径硅片背面金属含量的机械手，其特征在于：所述翻转装置还包括旋转电机，设置在所述转动轴的一端，控制所述转动轴旋转。
4.根据权利要求1所述的一种用于测试大直径硅片背面金属含量的机械手，其特征在于：所述喷水孔中还设有一雾化喷头。
5.根据权利要求1所述的一种用于测试大直径硅片背面金属含量的机械手，其特征在于：所述清洁装置还设有加热板，所述加热板设置在所述机械手本体上，烘干所述机械手本体。
6.根据权利要求1所述的一种用于测试大直径硅片背面金属含量的机械手，其特征在于：所述吸附装置包括吸盘，设置在所述机械手本体的前端，吸附所述硅片。
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