[实用新型]热调谐DFB激光器

权利要求书

1.一种热调谐DFB激光器，包括有源区(1)和反射区(2)，所述有源区(1)和反射区(2)均包括波导结构，所述有源区(1)还包括用于输入驱动电流的第一电极(11)，其特征在于：所述激光器还包括能够向波导结构传导热量用于调节激光器工作温度的调温装置，所述调温装置包括电阻丝(7)和设置在电阻丝(7)两端的第二电极，所述电阻丝(7)在有源区(1)和反射区(2)之间延伸。

2.根据权利要求1所述的热调谐DFB激光器，其特征在于：所述电阻丝(7)和第一电极(11)上方覆盖有能够导热的介质层(5)，所述介质层(5)将第一电极(11)和第二电极电隔离。

3.根据权利要求2所述的热调谐DFB激光器，其特征在于：所述第一电极(11)设置在有源区(1)的波导结构和介质层(5)之间。

4.根据权利要求3所述的热调谐DFB激光器，其特征在于：所述波导结构在有源区(1)具有与第一电极(11)位置对应的上盖层(43)，所述波导结构除上盖层(43)的顶面以外的顶面上设置有绝缘层(9)，所述电阻丝(7)设置在绝缘层(9)上。

5.根据权利要求4所述的热调谐DFB激光器，其特征在于：所述介质层(5)与第一电极(11)对应的位置开设有第一开口(51)，使得第一电极(11)埋入第一开口(51)而与波导结构的上盖层(43)直接接触，所述第一开口(51)至少在顶部为封闭。

6.根据权利要求5所述的热调谐DFB激光器，其特征在于：所述第一电极(11)包括第一有源电极(111)以及与第一有源电极(111)连接的第二有源电极(112)，所述第一有源电极(111)埋入在介质层(5)内。

7.根据权利要求4所述的热调谐DFB激光器，其特征在于：所述介质层(5)上方覆盖有导电导热层(6)。

8.根据权利要求7所述的热调谐DFB激光器，其特征在于：所述电阻丝(7)的两端分别具有弯折而成的弯折部(71)，所述介质层(5)与弯折部(71)对应的位置开设有第二开口(52)，所述导电导热层(6)与第二开口(52)对应的位置凸起而能从介质层(5)上方穿过第二开口(52)从而与电阻丝(7)接触，所述导电导热层(6)穿过第二开口(52)的部分构成所述第二电极。

9.根据权利要求4～8中任一项所述的热调谐DFB激光器，其特征在于：所述波导结构为脊形波导，所述波导结构整体形成有脊棱(45)，所述介质层(5)覆盖脊棱(45)，所述第一电极(11)在脊棱(45)处与波导结构电连接。

10.根据权利要求1～8中任一项所述的热调谐DFB激光器，其特征在于：所述波导结构包括接收第一电极(11)注入的电流而实现激光输出的芯层(41)。