[实用新型]尾排管路

说明书

本申请公开了一种尾排管路，包括：尾排管路本体，包括多个节点；所述尾排管路本体的每个节点处设置有气体吹扫管路，每个所述气体吹扫管路的出气口延伸至所述尾排管路本体内部以与所述尾排管路本体内腔连通，其进气口设置在所述尾排管路之外以便通入惰性气体。本申请实施例实现了尾排管路内壁粉尘的自清洁。

技术领域

本申请涉及半导体产品生产技术领域，尤其涉及一种尾排管路。

背景技术

等离子体增强化学气相沉积法(PECVD，Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition)工艺及清洗过程中所产生的残余气体及副产物通过尾排管路到尾气处理设备进行处理后排放。参见图1所示，在工艺运行一段时间后，尾排管路内壁上会慢慢附着一些粉尘，并不断积累，会越来越厚。

目前，尾排管路的清洁方式主要是靠人工清洁，在月度或季度保养时，先将尾排管路进行吹扫，再将尾排管路分段拆卸，并通过吹风来吹扫尾排管路的内壁。清洁完成后，需要对尾排管路进行保压，以保证尾排管路的密闭性。该清洁方式由于需要对尾排管路进行拆卸并且拆卸点相对较多，因此，效率低、时间成本高，费时费力，并且还存在安全隐患。

发明内容

为了解决上述技术问题，本申请期望提供一种尾排管路，其能够实现内壁粉尘的自清洁。

本申请的一个方面的实施方式中，提供了一种尾排管路，其包括：

尾排管路本体，包括多个节点；

所述尾排管路本体的每个节点处设置有气体吹扫管路，每个所述气体吹扫管路的出气口延伸至所述尾排管路本体内部以与所述尾排管路本体内腔连通，其进气口设置在所述尾排管路之外。

在本实施方式的一个实施例中，所述气体吹扫管路具有主管路和多条支路，所述多条支路从所述主管路上分出且所述多条支路通过所述尾排管路本体四周的多个点与所述尾排管路本体内腔连通。

在本实施方式的一个实施例中，所述尾排管路本体的每个所述节点处的管壁四周布设有四个所述气体吹扫管路，四个所述气体吹扫管路分别位于所述尾排管路本体相应节点处的四周管壁的不同侧面上。

在本实施方式的一个实施例中，所述尾排管路本体的节点处开有通孔，所述气体吹扫管路的出气口穿过所述通孔延伸至所述尾排管路本体内部。

在本实施方式的一个实施例中，所述气体吹扫管路中延伸至所述尾排管路本体内部的部分朝向所述尾排管路本体的排气方向弯折。

在本实施方式的一个实施例中，所述气体吹扫管路中弯折部分的中心轴线与其主管路的中心轴线呈预定角度。

在本实施方式的一个实施例中，所述预定角度范围为125°～145°。

在本实施方式的一个实施例中，每条所述气体吹扫管路上设置有测量元器件和/或调节元器件，所述测量元器件和/或调节元器件设置在所述气体吹扫管路的进气口内侧并位于所述尾排管路本体之外。

在本实施方式的一个实施例中，所述测量元器件包括如下之一或多项：流量计、压力表；和/或，所述调节元器件包括如下之一或多项：气动阀、调节阀。

在本实施方式的一个实施例中，还包括：控制器，配置为控制所述尾排管路本体的每个节点处的所述气体吹扫管路的所述气动阀或所述调节阀依次轮流开启，且每次仅开启一个所述气动阀或所述调节阀。

本申请实施例的尾排管路，其每个节点处安装有气体吹扫管路，通过气体吹扫管路向尾排管路内部通入惰性气体以实现其内壁上粉尘的吹扫清洁，由此实现了尾排管路内壁粉尘的自清洁，无需手动拆卸尾排管路，节约人力的同时还可避免尾排管路拆卸所带来的安全隐患以及拆卸所飘落的粉尘散落在洁净室中。

附图说明