[实用新型]一种硅片上料机构

权利要求书

1.一种硅片上料机构，包括料托运动机构（1），其特征在于，所述料托运动机构（1）包括底板，所述底板的上表面安装有滑轨机构，所述料托运动机构（1）的滑轨机构上连接有料托（2），所述料托（2）包括料托挡板和料托支架，所述料托支架上放置有硅片（3），所述料托支架远离料托挡板的一端设置有镂空上料皮带（6），所述镂空上料皮带（6）通过安装支架安装在料托运动机构（1）的底板上，所述镂空上料皮带（6）与料托（2）相接触位置的一旁安装有吹气块（4）和吹气管（5），所述镂空上料皮带（6）上安装有吸气块（7），所述吸气块（7）通过连接装置与风机装置相连。

2.根据权利要求1所述的一种硅片上料机构，其特征在于，所述镂空上料皮带（6）的两端均设置有皮带轮，且一端的皮带轮与上料伺服电机（8）装配连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片上料机构，其特征在于，所述镂空上料皮带（6）远离料托（2）的一端连接有水平输送带。

4.根据权利要求1所述的一种硅片上料机构，其特征在于，所述风机装置包括测流式分机（12），所述测流式分机（12）的输出端分别连接有溢流阀（10）和消音器（11）。

5.根据权利要求4所述的一种硅片上料机构，其特征在于，所述溢流阀（10）远离测流式分机（12）的一端安装有分气块（9）。

6.根据权利要求5所述的一种硅片上料机构，其特征在于，所述分气块（9）上设置有多个风口，多个所述风口通过连接装置分别与吸气块（7）相连。