[实用新型]一种便携式氦气分析仪

权利要求书

1.一种便携式氦气分析仪，其特征在于包括一个可携带的壳体，壳体上设有显示单元、按键单元、进气口与出气口，壳体内设有三通电磁阀、色谱模块、热导检测器、采气泵、主控电路及为整个便携式氦气分析仪供电的蓄电池；进气口和三通电磁阀的公共口相连，三通电磁阀的第一出气口经色谱模块和热导检测器的测量池进气口相连，三通电磁阀的第二出气口和热导检测器的参比池进气口相连，热导检测器出气口经采气泵和出气口相连，显示单元、按键单元、三通电磁阀、色谱模块、热导检测器、采气泵分别和主控电路电连接。

2.根据权利要求1所述的一种便携式氦气分析仪，其特征在于所述的色谱模块内部设有波浪形气道，波浪形气道呈若干个连续的蛇形弯曲设置，波浪形气道底部为硅基片，硅基片的背面设有加热电极和控温电极，波浪形气道内填充多孔碳纳米管形成色谱柱，波浪形气道的进气口和所述的三通电磁阀的第一出气口相连，波浪形气道的出气口和所述的热导检测器的测量池进气口相连，加热电极、控温电极分别和所述的主控电路电连接。

3.根据权利要求1所述的一种便携式氦气分析仪，其特征在于所述的热导检测器包括对称设置的测量池和参比池以及信号处理电路，测量池内设有测量电极，参比池内设有参比电极，所述的测量池进气口设在测量池上，所述的参比池进气口设在参比池上，测量池、参比池均与所述的热导检测器出气口连通，测量电极、参比电极分别和信号处理电路相连，信号处理电路和所述的主控电路电连接。

4.根据权利要求3所述的一种便携式氦气分析仪，其特征在于所述的测量池和参比池的底部均是单晶硅基底，单晶硅基底上设有通过深刻蚀技术刻蚀形成的梳形气道，测量电极及参比电极位于梳形气道上方，测量电极及参比电极均为通过溅射Pt-Au合金并通过光刻形成的热敏梳状电极。

5.根据权利要求1或2或3所述的一种便携式氦气分析仪，其特征在于包括流量稳定模块，所述的采气泵经流量稳定模块和所述的出气口相连。

6.根据权利要求1或2或3所述的一种便携式氦气分析仪，其特征在于所述的主控电路包括中央处理单元及分别与中央处理单元相连的驱动单元、数据存储单元，驱动单元分别和所述的三通电磁阀、色谱模块、采气泵相连，所述的热导检测器和中央处理单元相连。