[实用新型]分区域吸附载台有效
| 申请号： | 202120077865.3 | 申请日： | 2021-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN215470596U | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 杨龙;张明荣;魏文;张庆礼;吴文锋;张昆鹏;李少荣;谢圣君;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 任哲夫 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 区域 吸附 | ||
【权利要求书】：
1.一种分区域吸附载台，其特征在于，包括至少两个吸附结构和基板，所述吸附结构连接于所述基板，所述基板内设有至少一条独立的气道，所述基板上设有多个与所述气道连通的吸附孔，所述吸附结构上设有多个与所述吸附孔对应连通的通孔。
2.如权利要求1所述的分区域吸附载台，其特征在于，所述气道连接有开关装置。
3.如权利要求1所述的分区域吸附载台，其特征在于，所述基板的侧边均设有与所述气道连通的气孔。
4.如权利要求3所述的分区域吸附载台，其特征在于，所述气孔连接有气道接头。
5.如权利要求1所述的分区域吸附载台，其特征在于，所述基板上相邻的两侧均间隔设有挡块。
6.如权利要求1所述的分区域吸附载台，其特征在于，所述基板的材质为铝。
7.如权利要求1所述的分区域吸附载台，其特征在于，所述吸附结构为防静电电木材质。
8.如权利要求1所述的分区域吸附载台，其特征在于，所述吸附孔与所述通孔对应连通的周围设有密封胶圈。
9.如权利要求8所述的分区域吸附载台，其特征在于，所述吸附结构通过螺钉与所述基板固定连接。
10.如权利要求9所述的分区域吸附载台，其特征在于，所述螺钉至少为两个。
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