[实用新型]一种检测金属薄片装置

说明书

本实用新型公开了一种检测金属薄片装置，机械臂置于检测腔体一侧，用于抓取金属薄片；加热台置于检测腔体内；检测腔体的进气端上设置有进气阀门，检测腔体的出气端上设置有出气阀门；紫外灯设置于检测腔体顶部；CCD镜头置于检测腔体内，CCD镜头位于紫外灯的一侧；气体分析室置于检测腔体的一侧，气体分析室的进气端与出气阀门连通。通过加热台、CCD镜头和紫外灯的设置检测金属薄片上残留的有机材料，以确保金属薄片上的有机材料全部蒸镀完全；防止金属薄片在下次蒸镀时残余的有机材料会叠加上新蒸镀上的有机材料，同时防止再次蒸镀到基板上会影响成膜的厚度，导致器件的光电性能不佳，使用新的有机材料会产生交叉污染现象。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀领域，尤其涉及一种检测金属薄片装置。

背景技术

目前，一般真空蒸镀工艺已广泛应用于平板显示器件如有机发光二极管(OLED)的制备过程中，是在真空环境中，加热蒸发源中的有机材料使其变成蒸汽后沉积在TFT基板上，目前主流的蒸镀源是线蒸发源和点蒸发源，面蒸发源属于一种新的技术，使用面蒸发源的腔体配置与线/点蒸发源的腔体配置不同。请参阅图1，面蒸发源的腔体配置包括基板装载腔、面源蒸镀腔、面源倒置腔、蒸发源蒸镀腔、面源冷却腔、基板保存腔、遮罩保存腔及基板卸载腔，首先在面源蒸镀腔中用点/线/面蒸发源将金属面薄片蒸镀上有机材料薄膜，然后在面源倒置腔中把镀上有机薄膜的金属面薄片进行倒置，之后传送到蒸发源蒸镀腔，腔体中有先从基板装载腔和遮罩保存腔传送过来的基板和遮罩板，继而加热镀上有机材料的金属面薄片，使有机物蒸汽通过遮罩板蒸镀到基板上，最后将金属面薄片传送到面源冷却腔进行冷却，而蒸镀好的基板送到基板保存腔暂存。上述过程中如果在蒸发源蒸镀腔中面蒸发源对镀上有机材料的金属薄片加热不均匀或是不完全会残留有机材料，再下次蒸镀时会如果残余的有机材料蒸镀到基板上会影响成膜的厚度，导致器件的光电性能不佳，目前蒸镀完后的金属面薄片经过冷却后就继续进行蒸镀成膜，无法保证金属薄片上镀的有机材料升华完全，没有对金属薄片进行有机材料残余的检测，确保金属薄片上的有机材料全部蒸镀完全。

实用新型内容

为此，需要提供一种检测金属薄片装置，以确保金属薄片上的有机材料全部蒸镀完全。

为实现上述目的，本申请提供了一种检测金属薄片装置，包括：机械臂、检测腔体、气体分析室、CCD镜头、加热台和紫外灯；所述检测腔体上开设有进气阀门、出气阀门和仓门；

所述机械臂置于所述检测腔体一侧，用于抓取金属薄片；所述加热台置于所述检测腔体内，用于加热金属薄片；所述检测腔体的进气端上设置有进气阀门，所述检测腔体的出气端上设置有出气阀门，且进气阀门和出气阀门分别用于通入和排出气体；所述紫外灯设置于所述检测腔体顶部，用于照射金属薄片；所述CCD镜头置于所述检测腔体内，且所述CCD镜头位于所述紫外灯的一侧，用于拍照识别金属薄片上的残留物；所述气体分析室置于所述检测腔体的一侧，且所述气体分析室的进气端与所述出气阀门连通。

进一步地，所述紫外灯和CCD镜头滑动设置于所述检测腔体顶部。

进一步地，还包括：可伸缩支撑柱；所述可伸缩支撑柱为多个，且多个所述可伸缩支撑柱置于所述加热台上，多个所述可伸缩支撑柱用于支撑金属薄片。

进一步地，所述气体分析室为紫外可见分光仪器或紫外可见分光仪器。

进一步地，还包括：驱动单元；所述驱动单元与所述机械臂、检测腔体、气体分析室、CCD镜头、加热台、紫外灯、进气阀门、出气阀门和仓门电连接，用于驱动所述机械臂、检测腔体、气体分析室、CCD镜头、加热台、紫外灯、进气阀门、出气阀门和仓门。

进一步地，所述检测腔体的进气端和出气端上分别设置有两个通量阀门，两个所述通量阀门分别用于检测进入和排出所述检测腔体内气体的体积。

本申请还提供了一种检测金属薄片装置的驱动方法，驱动方法应用于上述任意一项实施例所述一种检测金属薄片装置，包括步骤：