[实用新型]一种晶片清洗加热石英缸

权利要求书

1.一种晶片清洗加热石英缸，其特征在于：包括石英缸(1)和与其配合的石英缸盖(2)；

所述石英缸(1)为正六面箱体结构，石英缸(1)的四个侧面和底部均布有加热丝一(3)，所述石英缸(1)的底部内侧设置有十字凸起(5)，所述石英缸(1)的底部由十字凸起(5)均分成四个区域，四个区域内均设置有硅片花篮(7)，所述十字凸起(5)为中心断开结构，所述十字凸起(5)的断开处设有废液排液口(4)，所述十字凸起(5)内部布有加热丝二(6)，所述石英缸盖(2)与石英缸(1)活动连接，所述石英缸盖(2)顶部一侧设有排气管(8)。

2.根据权利要求1所述的一种晶片清洗加热石英缸，其特征在于：所述石英缸(1)的四个侧面的外侧设置有保护层一(9)。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶片清洗加热石英缸，其特征在于：所述石英缸(1)的底部外侧设置有保护层一(9)。

4.根据权利要求1所述的一种晶片清洗加热石英缸，其特征在于：所述加热丝一(3)的外部设有保护层二(10)。

5.根据权利要求1所述的一种晶片清洗加热石英缸，其特征在于：所述加热丝二(6)的外部设有保护层二(10)。

6.根据权利要求1所述的一种晶片清洗加热石英缸，其特征在于：所述石英缸盖(2)的顶部设有把手(11)。

7.根据权利要求1或2所述的一种晶片清洗加热石英缸，其特征在于：所述石英缸(1)底部的保护层一(9)内设有热电偶(12)，所述热电偶(12)连接有断路器(13)，所述断路器(13)连接有温度显示器(14)。

8.根据权利要求1所述的一种晶片清洗加热石英缸，其特征在于：所述十字凸起(5)垂直于石英缸(1)底面的四个边。