[实用新型]阵列式矩形腔微波等离子发生器

权利要求书

1.阵列式矩形腔微波等离子发生器，其特征在于：包括矩形腔外壳(1)、第一辐射线组(2)和第二辐射线组(3)；所述第一辐射线组(2)和第二辐射线组(3)设在矩形腔外壳(1)内；所述第一辐射线组(2)和第二辐射线组(3)均包括若干个辐射线；所述第一辐射线组(2)的辐射线从矩形腔外壳(1)的左侧壁向矩形腔外壳(1)的右侧壁延伸；所述第二辐射线组(3)的辐射线从矩形腔外壳(1)的右侧壁向矩形腔外壳(1)的左侧壁延伸；所述第一辐射线组(2)的辐射线和第二辐射线组(3)的辐射线依次交叉。

2.根据权利要求1所述的阵列式矩形腔微波等离子发生器，其特征在于：每个辐射线对应有一个微波源(4)；所述矩形腔外壳(1)上设有进气口(5)和出气口(6)。

3.根据权利要求2所述的阵列式矩形腔微波等离子发生器，其特征在于：所述矩形腔外壳(1)上设有玻璃观察口(7)。

4.根据权利要求3所述的阵列式矩形腔微波等离子发生器，其特征在于：所述玻璃观察口(7)上安装有红外温度传感器。

5.根据权利要求4所述的阵列式矩形腔微波等离子发生器，其特征在于：所述进气口(5)数量有若干个；若干个进气口(5)均布在矩形腔外壳(1)的底板上；所述出气口(6)数量有若干个；若干个出气口(6)均布在矩形腔外壳(1)的顶板上。

6.根据权利要求5所述的阵列式矩形腔微波等离子发生器，其特征在于：所述玻璃观察口(7)数量有若干个；每个辐射线一一正对有玻璃观察口(7)。

7.根据权利要求6所述的阵列式矩形腔微波等离子发生器，其特征在于：所述矩形腔外壳(1)的前后侧壁上均设有玻璃观察口(7)，每个辐射线一一正对的玻璃观察口(7)设在矩形腔外壳(1)的顶板上。

8.根据权利要求7所述的阵列式矩形腔微波等离子发生器，其特征在于：每个辐射线一一正对的玻璃观察口(7)上均安装有红外温度传感器。

9.根据权利要求8所述的阵列式矩形腔微波等离子发生器，其特征在于：还包括控制器和压力传感器；所述压力传感器用于监测矩形腔外壳(1)内的气压；若干个进气口(5)上均连有进气支管；所有进气支管共同连有进气总管；所述进气总管上设有电控流量调节阀；若干个出气口(6)上均连有出气支管；所有出气支管共同连有出气总管；所述出气总管上连有抽气泵；所述控制器分别和微波源(4)、电控流量调节阀、抽气泵、红外温度传感器、压力传感器电连接。

10.根据权利要求2所述的阵列式矩形腔微波等离子发生器，其特征在于：所述矩形腔外壳(1)的左侧壁外设有左箱体(8)；所述左箱体(8)用于容纳第一辐射线组(2)的辐射线对应的微波源(4)；所述矩形腔外壳(1)的右侧壁外设有右箱体(9)；所述右箱体(9)用于容纳第二辐射线组(3)的辐射线对应的微波源(4)；所述第一辐射线组(2)的辐射线对应的微波源(4)的电源接口和换热进出口设置在左箱体(8)侧壁上；所述第二辐射线组(3)的辐射线对应的微波源(4)的电源接口和换热进出口设置在右箱体(9)侧壁上；所述矩形腔外壳(1)的底部设有支架(10)；所述支架(10)用于使矩形腔外壳(1)的底板下方腾空。