[实用新型]一种高精度加热真空吸附平台

权利要求书

1.一种高精度加热真空吸附平台，包括面板(1)、真空腔(2)、硅胶加热板(3)和底板(4)，其特征在于，所述面板(1)设置在真空腔(2)的下方，所述真空腔(2)的上方设有底板(4)，所述真空腔(2)和底板(4)中间设置有硅胶加热板(3)，所述面板(1)、真空腔(2)和底板(4)四周边缘均设置有螺孔，面板(1)、真空腔(2)和底板(4)之间均通过螺钉相连接，所述面板(1)上均匀排列分布多排吸气孔，真空腔(2)的表面均匀设置有通气槽，所述通气槽的位置与吸气孔的位置相对应，且所述通气槽的四周设置密封胶圈，所述通气槽区域内设置有抽气孔(18)，所述硅胶加热板(3)内部设有均匀设置有加热丝，硅胶加热板(3)的表面设置有接线头(16)，所述接线头(16)与加热丝相连接，所述底板(4)上设有凹槽(10)，硅胶加热板(3)设置在凹槽(10)内，底板(4)的底面设置有接线盒(5)，所述接线头(16)与接线盒(5)相连接，底板(4)的底面均匀设置有气管接头(6)，且气管接头(6)的周围设有密封垫，连接管与气管接头(6)之间为密封连接。

2.根据权利要求1所述的一种高精度加热真空吸附平台，其特征在于，所述面板(1)的边缘均匀设置有螺孔一(7)，所述面板(1)包括底面和顶面，所述面板(1)的顶面设置有若干个螺孔二(8)，所述螺孔一(7)为贯穿螺孔，螺孔二(8)为不贯穿螺孔。

3.根据权利要求1所述的一种高精度加热真空吸附平台，其特征在于，所述真空腔(2)上设置有螺孔一(7)和螺孔二(8)，所述真空腔(2)上螺孔二(8)的位置与面板(1)上螺孔一(7)的位置相对应，所述通气槽设置在真空腔(2)的底面，所述真空腔(2)上均匀设置有螺孔三(9)，所述螺孔三(9)的周围设置有螺孔二(8)，所述底板(4)上的对应位置上设置有气管接头(6)和螺孔四(13)，所述螺孔三(9)和螺孔四(13)均为贯穿螺孔。

4.根据权利要求1所述的一种高精度加热真空吸附平台，其特征在于，所述硅胶加热板(3)上均匀设置有通孔(17)，通孔(17)的大小与气管接头(6)的大小相同，气管穿过通孔(17)与气管接头(6)相连接，所述硅胶加热板(3)的大小和形状与凹槽(10)的大小和形状相同，硅胶加热板(3)安装在凹槽(10)内，所述凹槽(10)的底部设有安装板(14)，安装板(14)通过螺纹套(15)固定安装在凹槽(10)底部，凹槽(10)设置在底板(4)的一侧，接线盒(5)设置在底板(4)的另一侧，所述安装板(14)和接线盒(5)相连接。

5.根据权利要求2所述的一种高精度加热真空吸附平台，其特征在于，所述面板(1)和真空腔(2)的制作材料为6061，所述面板(1)和真空腔(2)表面去除切削液及油污，并使用拉丝布均匀打磨，且所述面板(1)表面设置有金色阳极氧化层。

6.根据权利要求4所述的一种高精度加热真空吸附平台，其特征在于，所述凹槽(10)内底部设有安装槽，所述安装槽内设置有安装板(14)，安装板(14)的大小和形状与安装槽的大小和形状相同，安装板(14)的厚度与安装槽的深度相同，所述硅胶加热板(3)的厚度与凹槽(10)的深度相同。