[实用新型]一种等离子体发射光谱采集装置有效
申请号: | 202120116770.8 | 申请日: | 2021-01-15 |
公开(公告)号: | CN215179692U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 卢璟 | 申请(专利权)人: | 青岛金谱晟科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/71 | 分类号: | G01N21/71;G01N21/01 |
代理公司: | 合肥晨创知识产权代理事务所(普通合伙) 34162 | 代理人: | 康培培 |
地址: | 266000 山东省青岛市自由贸易试验区*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 等离子体 发射光谱 采集 装置 | ||
1.一种等离子体发射光谱采集装置,其特征在于,包括:
支撑架,所述支撑架包括沿第一方向设置的第一支架和沿第二方向设置的第二支架,所述第一支架和所述第二支架垂直设置;
准直单元,所述准直单元设置在所述第一支架上,用于将激光诱导击穿产生的等离子体发射光准直为与所述第一方向平行的光束;
分光单元,所述分光单元设置在所述第一支架和所述第二支架的交叉位置,用于将所述光束平分为第一光束和第二光束,所述第一光束沿所述第一方向传播,所述第二光束沿所述第二方向传播;
第一光谱采集组件,所述第一光谱采集组件包括设置在所述第一支架上的第一收集透镜和第一光纤光谱仪,所述第一收集透镜用于将所述第一光束聚焦耦合至所述第一光纤光谱仪,获得第一等离子体发射光谱;
第二光谱采集组件,所述第二光谱采集组件包括设置在所述第二支架上的第二收集透镜和第二光纤光谱仪,所述第二收集透镜用于将所述第二光束聚焦耦合至所述第二光纤光谱仪,获得第二等离子体发射光谱。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,
所述第一支架上设有第一同轴调整精密镜架和第二同轴调整精密镜架,所述第一同轴调整精密镜架和所述第二同轴调整精密镜架分别设置在所述分光单元的两侧;和/或,
所述第二支架上设有第三同轴调整精密镜架。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,
所述第一光谱采集组件包括设置在所述第一支架上的第一收集镜架,所述第一收集透镜设置在所述第一收集镜架内;和/或,
所述第二光谱采集组件包括设置在所述第二支架上的第二收集镜架,所述第二收集透镜设置在所述第二收集镜架内。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,
所述第一光谱采集组件包括设置在所述第一支架上的第一套筒,所述第一套筒用于去除所述第一光束的杂光干扰;和/或,
所述第二光谱采集组件包括设置在所述第二支架上的第二套筒,所述第二套筒用于去除所述第二光束的杂光干扰。
5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述准直单元为准直透镜。
6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述分光单元包括分光片或棱镜。
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