[实用新型]一种方便操作的高温磷酸腐蚀机用虹吸装置有效
申请号: | 202120125839.3 | 申请日: | 2021-01-18 |
公开(公告)号: | CN215234287U | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 李继忠;李述周;王冬莹 | 申请(专利权)人: | 江苏科沛达半导体科技有限公司 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 32475 | 代理人: | 杜朝霞 |
地址: | 221300 江苏省徐州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 方便 操作 高温 磷酸 腐蚀 虹吸 装置 | ||
1.一种方便操作的高温磷酸腐蚀机用虹吸装置,包括钢瓶(6),其特征在于,所述钢瓶(6)的顶部设有通气管(4),通气管(4)的一侧设有压力表(7),所述钢瓶(6)的顶部外壁固定连接有计时器(10)和处理器,所述钢瓶(6)的顶部开设有插接孔,插接孔内设有压力传感器(8)和温度传感器(9),所述通气管(4)的一端设有电磁阀(5),通气管(4)的一端设有处理管(3),处理管(3)的另一端设有进液管(1),所述进液管(1)的一侧设有出液管(2)。
2.根据权利要求1所述的一种方便操作的高温磷酸腐蚀机用虹吸装置,其特征在于,所述出液管(2)的一端设有固定管(11),固定管(11)的另一端设有安装管(12)。
3.根据权利要求2所述的一种方便操作的高温磷酸腐蚀机用虹吸装置,其特征在于,所述固定管(11)的一侧设有阀门执行器(13),阀门执行器(13)与处理器电性连接。
4.根据权利要求3所述的一种方便操作的高温磷酸腐蚀机用虹吸装置,其特征在于,所述安装管(12)的一端设有安装筒(14),安装筒(14)的另一端设有连接管(15)。
5.根据权利要求1所述的一种方便操作的高温磷酸腐蚀机用虹吸装置,其特征在于,所述进液管(1)的一端设有配重环(17),配重环(17)的一侧固定连接有镂空筒(16)。
6.根据权利要求1所述的一种方便操作的高温磷酸腐蚀机用虹吸装置,其特征在于,所述处理器与电磁阀(5)、压力传感器(8)、温度传感器(9)和计时器(10)电性连接。
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