[实用新型]一种复合透明导电层和太阳能电池

说明书

一种复合透明导电层和太阳能电池，复合透明导电层包括：依次层叠的第一层透明导电膜至第M层透明导电膜,第k层透明导电膜具有第k透光率和第k电导率；第k+1层透明导电膜具有第k+1透光率和第k+1电导率；第k透光率大于第k+1透光率，第k+1电导率大于第k电导率；M为大于等于3的整数；k为大于或等于1且小于或等于M‑1的整数。所述复合透明导电层同时兼顾了透光率和电导率，太阳能电池的转化效率提高。

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，具体涉及一种复合透明导电层和太阳能电池。

背景技术

太阳能电池是一种清洁能源电池，太阳能电池广泛的应用在生活和生产中。在太阳能电池的电极和非晶硅之间加一层透明导电膜(TCO)可以有效地增加载流子的收集，提高太阳能电池的转换效率。透明导电膜一方面需具有一定的透光率，以保证太阳光能够穿过透明导电膜被太阳能电池吸收，另一方面需具有一定的电导率，以保证透明导电膜能够与电极形成良好的欧姆接触。然而透光率和电导率是相互矛盾的，如果注重透明导电膜的透光率的提高势必会将透明导电膜的膜层减薄，但是膜层减薄会导致透明导电膜的电导率降低，相反，电导率的提高也会引起透光率的降低。

因此，现有技术中的太阳能电池的透明导电膜难以同时具有良好的透光率和电导率的问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中透明导电膜难以同时具有良好的透光率和电导率的问题，从而提供一种复合透明导电层和太阳能电池。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种复合透明导电层，包括：依次层叠的第一层透明导电膜至第M层透明导电膜,第k层透明导电膜具有第k透光率和第k电导率,第k+1层透明导电膜具有第k+1透光率和第k+1电导率；第k透光率大于第k+1透光率，第k+1电导率大于第k电导率；M为大于或等于3的整数；k为大于或等于1且小于或等于M-1的整数。

可选的，M等于3；所述复合透明导电层包括第一层透明导电膜、第二层透明导电膜和第三层透明导电膜，所述第二层透明导电膜位于所述第一层透明导电膜和所述第三层透明导电膜之间；所述第一层透明导电膜具有第一透光率和第一电导率；所述第二层透明导电膜具有第二透光率和第二电导率；所述第三层透明导电膜具有第三透光率和第三电导率；所述第二透光率小于所述第一透光率且大于第三透光率，所述第二电导率大于所述第一电导率且小于所述第三电导率。

可选的，第一层透明导电膜至第M层透明导电膜包括铟系氧化物。

可选的，所述第一层透明导电膜包括掺锡氧化铟或者掺钨氧化铟；所述第二层透明导电膜至第M层透明导电膜包括掺锡氧化铟。

可选的，所述第一层透明导电膜中的氧化铟含量至第M层透明导电膜中的氧化铟含量递减。

可选的，M等于3，第一层透明导电膜中的氧化铟的质量百分比为93：7～99：1；第二层透明导电膜中氧化铟的质量百分比为90：10～93：7；第三层透明导电膜中氧化铟的质量百分比为88：12～90：10。

可选的，所述第一层透明导电膜的厚度至第M层透明导电膜的厚度递减。

本实施新型还提供一种太阳能电池，包括：本实用新型的复合透明导电层。

可选的，还包括：半导体衬底层；所述复合透明导电层位于所述半导体衬底层的正面一侧，和/或，所述复合透明导电层位于所述半导体衬底层的背面一侧；第一层透明导电膜位于所述半导体衬底层和第M层透明导电膜之间。