[实用新型]一种用于放置摇晶盘的多工位工作台有效
申请号: | 202120135489.9 | 申请日: | 2021-01-18 |
公开(公告)号: | CN214175976U | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 向军;封浩;冯霞霞;王金磊 | 申请(专利权)人: | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/329 |
代理公司: | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人: | 陈章 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 放置 摇晶盘 多工位 工作台 | ||
本实用新型提供了一种用于放置摇晶盘的多工位工作台,所述多工位工作台包括:等待工位,用于放置等待取晶操作的摇晶盘;操作工位,用于放置正在进行取晶操作的摇晶盘;转移工位,设置在所述等待工位和所述操作工位的下方,用于在所述等待工位和所述操作工位之间转移传递摇晶盘,通过自动化的转移工位将等待工位上的摇晶盘转移在操作工位上,并在操作工位的操作托盘上设置压轮来定位摇晶盘,不需要工装夹具进行定位,操作简单,也提高了工作效率。
技术领域
本实用新型涉及一种多工位工作台,尤其涉及一种用于放置摇晶盘的多工位工作台。
背景技术
在二极管的封装过程中,工作台可以保证在取晶时工作的稳定和效率,目前,在将晶盘放置在工作台上时,需要工装夹具进行定位,但是,晶盘在装夹定位时操作比较困难,效率比较低。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:晶盘在装夹定位时操作比较困难,效率比较低的问题,本实用新型提供了一种用于放置摇晶盘的多工位工作台来解决上述问题。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种用于放置摇晶盘的多工位工作台,所述多工位工作台包括等待工位,用于放置等待取晶操作的摇晶盘;操作工位,用于放置正在进行取晶操作的摇晶盘;转移工位,设置在所述等待工位和所述操作工位的下方,用于在所述等待工位和所述操作工位之间转移传递摇晶盘。
进一步地:所述多工位工作台还包括固定平台,所述固定平台上设置有第一气缸和第二气缸,所述第一气缸的缸体和第二气缸的缸体竖直固定设置在所述固定平台上,所述等待工位固定设置在所述第一气缸的活塞杆末端并能在所述第一气缸的驱动下上下运动,所述操作工位固定设置在所述第二气缸的活塞杆末端并能在所述第二气缸的驱动下上下运动;所述等待工位或所述操作工位向上运动能由所述转移工位上拾取摇晶盘,所述等待工位或所述操作工位向下运动能将摇晶盘放置在所述转移工位上。
进一步地:所述等待工位包括有水平固定设置在所述第一气缸的活塞杆末端的第一导轨和滑动安装在所述第一导轨上的第一滑块,所述第一滑块上安装有用于放置摇晶盘的等待托盘;所述等待托盘上,在位于摇晶盘的下方设置有第一空槽;所述转移工位包括有转移台,所述转移台能上下穿过所述第一空槽。
进一步地:所述操作工位包括有水平固定设置在所述第二气缸的活塞杆末端的第二导轨和滑动安装在所述第二导轨上的第二滑块,所述第二滑块上安装有用于放置摇晶盘的操作托盘;所述操作托盘上,在位于摇晶盘的下方设置有第二空槽;所述转移台能上下穿过所述第二空槽。
进一步地:所述转移工位还包括丝杠和滑台,所述丝杠的一端设置有转移电机,所述转移电机驱动所述丝杠转动并带动所述滑台沿所述丝杠的轴向移动,所述滑台上固定设置有直线气缸,所述直线气缸一端设置在所述等待托盘的下方,另一端设置在所述操作托盘的下方;所述丝杠的轴向垂直于所述直线气缸设置,所述转移台固定安装在所述直线气缸的活塞上。
进一步地:所述操作托盘上设置有与所述第二导轨平行的同步带,所述同步带在驱动电机的驱动下可沿平行于所述第二导轨的方向运动;所述同步带和所述第二滑块固定连接;所述操作托盘上还设置有将摇晶盘向下压紧在所述操作托盘上的压轮。
本实用新型的有益效果是,本实用新型一种用于放置摇晶盘的多工位工作台通过设置自动化的转移工位将等待工位上的摇晶盘转移在操作工位上,并在操作工位的操作托盘上设置压轮来定位摇晶盘,不需要工装夹具进行定位,操作简单,也提高了工作效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型等待工位和操作工位的结构示意图;
图2是本实用新型转移工位的结构示意图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造