[实用新型]一种太阳能生产尾排废气回收系统

说明书

本实用新型的一种太阳能生产尾排废气回收系统，负压缓冲罐接收尾排废气并通过过滤器一与过滤器二对尾排废气进行一次过滤，过滤后的尾排废气通过增压和二次过滤后输送至正压缓冲罐，正压缓冲罐将二次过滤后的尾排废气输送给一级吸收塔初步吸收废气中的氨气，一级吸收塔的顶部废气输送至二级吸收塔，一级吸收塔的产物稀氨水一部分输送至氨水提浓模块，另一部分回流至一级吸收塔，二级吸收塔深度吸收氨气并产生稀氨水，将吸收后的富含氢气和氮气的尾气输送给氮气提纯模块进行回收。通过对电池生产尾排废气进行回收得到氨水、氮气和氢气，且最终排放的尾气符合国家排放标准，大幅度降低了氨氮废水的排放，具有能耗低，安全，经济性高等特点。

技术领域

本实用新型属于废气回收技术领域，具体来说是一种太阳能生产尾排废气回收系统。

背景技术

目前太阳能电池镀膜生产采用PECVD工艺，其原理是采用化学气相沉积(CVD)工艺，将硅烷和氨气等原材料由不同管道导入CVD系统中，在专用设备反应室中分解成硅、氮等单质，沉积在硅片上生长氮化硅薄膜晶体。镀膜PECVD生产过程主要的尾排气系统机台排放的含氨废气。

在电池片镀膜的生产过程中，氨气在硅片的表面分解，提供氮原子或含有原子团的氮。实际生产过程中氨气转化为N原子和H原子的效率并不高，其余的未反应的氨气、硅烷会被排出CVD系统形成尾气。

镀膜PECVD含氨废气的成分包括氨气、氢气、氮气和硅烷源等。由于吹扫氮气、硅烷燃烧塔空气的加入，尾气中实际各组分的大致构成如下：

成分	体积分数
2]]>	1％
3]]>	1％～4％
2]]>	～94％
SiH4	～0％
O2	1％
H2O	1％

现在主流技术，是利用在硅烷燃烧塔后的过滤器下游，在吸收塔中利用纯水或者稀硫酸吸收尾气中的氨气，尾气中不凝组分如氢气，氮气直接排放大气。吸收后的氨水浓度比较低，一般小于2％，这部分氨水没有经济价值，只能作为氨氮废水排入废水池中。该工艺存在以下缺点：

1、氨氮废水全部进入废水站，需要在硝化、反硝化消耗大量葡萄糖来使COD达标；

2、氢气、氮气在尾气中直接排放造成浪费；