[实用新型]一种半导体芯片表面灰尘清除装置有效
申请号: | 202120144718.3 | 申请日: | 2021-01-20 |
公开(公告)号: | CN215656599U | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 上海亘今精密机电科技有限公司 |
主分类号: | B08B1/04 | 分类号: | B08B1/04;B08B1/00;B08B13/00;B08B15/04 |
代理公司: | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人: | 刘冉 |
地址: | 200120 上海市浦东新区中国(上海)*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 表面 灰尘 清除 装置 | ||
1.一种半导体芯片表面灰尘清除装置,包括框体(1),其特征在于:所述框体(1)的内壁底部固接有两个伸缩杆(2),所述伸缩杆(2)的顶部固接有托板(3),所述托板(3)的顶部加工有放置槽(4),所述托板(3)的下方设有两个斜杆(5),两个所述斜杆(5)的内端转动连接,两个所述斜杆(5)的外端分别与托板(3)的底部和框体(1)的内壁底部转动连接,所述斜杆(5)的右侧内端通过弹簧(6)固定连接,所述托板(3)的上方设有清理组件(7);
所述清理组件(7)包括横杆(701)、电机(702)、套筒(703)、毛刷辊(704)、滑槽(705)、滑杆(706)、支杆(707)和销键(708);
所述横杆(701)的两端通过轴承与框体(1)的内部左右两侧转动连接,所述横杆(701)的右端与电机(702)的输出端固定连接,所述电机(702)安装于框体(1)的右端,所述横杆(701)的外壁间隙配合有套筒(703),所述横杆(701)的顶部固接有销键(708),所述销键(708)的外壁与套筒(703)的内壁顶部预设的键槽间隙配合,所述套筒(703)的外壁固接有毛刷辊(704),所述套筒(703)的外壁左侧通过滑槽(705)间隙配合有滑杆(706),所述滑杆(706)的顶部固接有支杆(707),所述支杆(707)的左端与框体(1)的内壁右端固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片表面灰尘清除装置,其特征在于:所述滑槽(705)呈斜向环形设置。
3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片表面灰尘清除装置,其特征在于:所述滑槽(705)与滑杆(706)构成滑动结构。
4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片表面灰尘清除装置,其特征在于:所述放置槽(4)呈横向等距分布。
5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片表面灰尘清除装置,其特征在于:所述托板(3)的上方设有吸附组件(8);
所述吸附组件(8)包括集尘箱(801)、曲管(802)、椭圆形管(803)和通孔(804);
所述集尘箱(801)安装于框体(1)的顶部,所述集尘箱(801)的吸附端连通有曲管(802),所述曲管(802)的外壁贯穿框体(1)的顶部右侧并连通有椭圆形管(803),所述椭圆形管(803)的内端下方加工有双排通孔(804)。
6.根据权利要求5所述的一种半导体芯片表面灰尘清除装置,其特征在于:所述椭圆形管(803)位于与毛刷辊(704)的底部位置对应设置。
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