[实用新型]一种自动理片器有效
申请号: | 202120149499.8 | 申请日: | 2021-01-19 |
公开(公告)号: | CN213936135U | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 沈辉;陈正权 | 申请(专利权)人: | 扬州国宇电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 罗超 |
地址: | 225000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 理片器 | ||
本实用新型公开了理片器技术领域内的一种自动理片器,包括外壳,外壳顶部设置有承载部,承载部上设置有压力传感器,承载部中部开设有理片口;滚轴,滚轴设置于外壳内,滚轴设置于理片口正下方;电机,电机输出端与滚轴一端传动连接,电机用以驱动滚轴转动;控制器,控制器与压力传感器及电机电连接,控制器接收压力传感器传递的信号并用以控制电机工作。该理片器的控制器通过压力传感器检测花篮是否已放置于承载部,判断为是时,自动控制电机工作,带动滚轴转动自动理片,减少人工操作,简化理片流程,提高生产效率。
技术领域
本实用新型涉及理片器技术领域,特别涉及一种自动理片器。
背景技术
理片器是硅片生产中一种基础的常用器件,其原理是利用中间的滚轴和硅片自带的统一直线切口,经过若干圈的转动之后,使得花篮内的硅片整齐朝向统一方向,故此称为理片器。
但是传统理片器一般都是手摇的,操作繁琐,费时费力。
实用新型内容
本申请通过提供一种自动理片器,解决了现有技术中理片器操作繁琐的问题,从而简化理片操作流程,提高生产效率。
本申请实施例提供了一种自动理片器,包括:
外壳,所述外壳顶部设置有承载部,所述承载部上设置有压力传感器,所述承载部中部开设有理片口;
滚轴,所述滚轴设置于所述外壳内,所述滚轴设置于所述理片口正下方;
电机,所述电机输出端与所述滚轴一端传动连接,所述电机用以驱动所述滚轴转动;
控制器,所述控制器与所述压力传感器及所述电机电连接,所述控制器接收所述压力传感器传递的信号并用以控制所述电机工作。
上述实施例的有益效果在于:承载部用以放置硅片花篮,当控制器通过压力传感器检测到花篮已放置于承载部时,控制电机工作,滚轴转动自动理片,减少人工操作,简化理片流程,提高生产效率。
在上述实施例基础上,本申请可进一步改进,具体如下:
在本申请其中一个实施例中,所述承载部两侧分别开设有与花篮挂件匹配的凹槽。凹槽用以定位并固定花篮。
在本申请其中一个实施例中,所述压力传感器设置有两个,两个所述压力传感器分别设置于两个所述凹槽底部。当两个压力传感器同时检测到压力变化后,控制器判断花篮放置完成,两个凹槽底部分别设置压力传感器可以减少花篮放置过程中的误触发。
在本申请其中一个实施例中,所述理片器还包括底板,所述底板连接于所述外壳底部。
在本申请其中一个实施例中,所述理片器还包括高度调节装置,所述高度调节装置包括托盘、调节杆,所述外壳内竖直设置有导向槽,所述托盘两侧设置有与所述导向槽匹配的挡板,所述滚轴两端分别轴接于所述挡板,所述挡板设置于所述导向槽内并可在所述导向槽内自由滑动,所述调节杆为螺纹杆并平行于所述导向槽设置,所述调节杆螺纹连接于所述托盘且两端分别轴接于所述外壳顶部及所述底板。旋转调节杆可调节托盘高度,从而调节滚轴高度。
在本申请其中一个实施例中,所述调节杆上端向上延伸出所述外壳。方便旋转调节杆从而调节托盘高度。
在本申请其中一个实施例中,所述导向槽底部设置有限位件,所述限位件用以限制所述托盘的移动范围。
本申请实施例中提供的一个或多个技术方案,至少具有如下技术效果或优点:
该理片器的控制器通过压力传感器检测花篮是否已放置于承载部,判断为是时,自动控制电机工作,带动滚轴转动自动理片,减少人工操作,简化理片流程,提高生产效率。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造