[实用新型]一种硅片线切割机用冷却液添加装置

说明书

本实用新型涉及硅片切割技术领域，且公开了一种硅片线切割机用冷却液添加装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有安装台，所述安装台的顶部固定连接有放置板，所述底板顶部的后侧固定连接有L形板，所述L形板的底部固定安装有控制箱，所述控制箱的底部固定安装有切割装置，所述切割装置位于放置板的上侧。该硅片线切割机用冷却液添加装置，通过打在斜板表面的冷却液滑落至流道内，通过排液槽内的滤网对冷却液进行滤除作用，使过滤掉切屑的冷却液流入盒体，通过泵体对盒体内的冷却液进行抽取，并将冷却液输入至储液箱中，从而对硅片切割冷却液进行回收，回收量大且回收效果较好，进而减少了冷却液的添加次数。

技术领域

本实用新型涉及硅片切割技术领域，具体为一种硅片线切割机用冷却液添加装置。

背景技术

硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。在硅片切割过程中所使用的切割液可以起到冷却作用，使切割机产生的热量散发，降低切割应力，然而硅片切割液切割时会有激浪产生，使得切割液流失过多，并且一些切割液与切屑粘在一起，无法直接回收使用，因而需要大量的切割液，且要求操作者频繁对切割冷却液进行添加，不便于硅片线切割机的使用。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片线切割机用冷却液添加装置，具备可回收、回收效果好、减少添加次数和自动添加等优点，解决了硅片切割液切割时会有激浪产生，使得切割液流失过多，并且一些切割液与切屑粘在一起，无法直接回收使用，因而需要大量的切割液，且要求操作者频繁对切割冷却液进行添加，不便于硅片线切割机使用的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片线切割机用冷却液添加装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有安装台，所述安装台的顶部固定连接有放置板，所述底板顶部的后侧固定连接有L形板，所述L形板的底部固定安装有控制箱，所述控制箱的底部固定安装有切割装置，所述切割装置位于放置板的上侧，所述控制箱的左侧固定安装有储液箱，所述储液箱的右侧固定连接有输液管，所述切割装置的内部开设有通槽，所述输液管的右端与通槽的内部固定连通，所述安装台顶部的左右两侧均固定连接有斜板，所述安装台的顶部开设有流道，所述流道位于两个斜板底部的相对一侧，所述底板的底部开设有排液槽，所述排液槽的内部固定安装有滤网，所述流道与排液槽的内部连通，所述底板的底部固定安装有盒体，所述排液槽与盒体的内部连通，所述底板底部的左侧固定安装有泵体，所述盒体的左侧与泵体的输入端连通，所述泵体的输出端与储液箱的内部连通。

优选的，所述控制箱左侧的顶部固定安装有添加箱，所述储液箱顶部的右侧固定连接有外壳体，所述外壳体的顶部与添加箱的底部活动连接。

优选的，所述添加箱的底部固定连接有内壳体，所述内壳体的底部与外壳体的顶部固定插接。

优选的，所述内壳体的内部开设有竖槽，所述竖槽的内顶壁活动连接有移动块，所述移动块的底部固定连接有连接杆，所述连接杆的侧表面固定套接有密封板，所述密封板顶部的左右两侧分别与内壳体底部的两个输出端活动插接。

优选的，所述连接杆的底端固定连接有浮块，所述浮块与储液箱的内部活动连接。

优选的，所述切割装置的底部转动连接有切割刀具，所述切割装置底部开设有出液孔，所述通槽的底端与出液孔的内部连通，所述出液孔位于切割刀具顶部的左侧。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅片线切割机用冷却液添加装置，具备以下有益效果：