[实用新型]一种用于单晶硅片抛光用的承载台

说明书

本实用新型涉及单晶硅片技术领域，且公开了一种用于单晶硅片抛光用的承载台，包括承载台，所述承载台的顶部活动连接有底盘，所述底盘的侧表面固定套接有固定短管，所述底盘的顶部活动连接有抛光垫，所述抛光垫的顶部活动连接有压环，所述压环的顶部活动连接有环形胶圈，所述环形胶圈的顶部活动连接有环形固定盖。该用于单晶硅片抛光用的承载台，通过底盘、固定短管、抛光垫、压环、环形胶圈和环形固定盖之间的相互配合，可以先用压环将抛光垫套接在底盘上，此时抛光垫被绷紧，然后再用环形固定盖将压环固定，从而使抛光垫被固定在底盘上，达到了便于快速对抛光垫进行更换的效果，解决了现有的抛光垫更换不便的问题。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片技术领域，具体为一种用于单晶硅片抛光用的承载台。

背景技术

单晶硅片抛光用承载台属于硅片研磨抛光机的一部分，多用来盛放和固定硅片，而且承载台不仅仅只是一个工作台面，还包括有底盘和抛光垫等装置，其中抛光垫多采用粘接的方式固定在底盘顶部，粘接的胶水为特制胶水，不易脱落，但因为抛光垫在抛光时损耗较大，需要经常进行更换，而使用胶水对抛光垫进行粘接会导致抛光垫更换不便，难以快速对抛光垫进行更换。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于单晶硅片抛光用的承载台，具备便于快速对抛光垫更换的优点，解决了现有的抛光垫更换不便的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于单晶硅片抛光用的承载台，包括承载台，所述承载台的顶部活动连接有底盘，所述底盘的侧表面固定套接有固定短管，所述底盘的顶部活动连接有抛光垫，所述抛光垫的顶部活动连接有压环，所述压环的顶部活动连接有环形胶圈，所述环形胶圈的顶部活动连接有环形固定盖，所述底盘的内部开设有抽气孔，所述抽气孔的内部螺纹连接有顶盘，所述顶盘的内部开设有通孔，所述底盘的内部开设有连通槽，所述连通槽通过导气管连接有单向管，所述单向管的内部活动连接有拉杆。

优选的，所述环形固定盖的底部与环形胶圈的顶部抵持，所述环形固定盖的侧表面与固定短管的内壁螺纹连接。

优选的，所述导气管的左端与连通槽的内部固定连接，所述固定短管的侧面固定连接有固定块，所述导气管的侧表面与固定块的内部固定连接。

优选的，所述拉杆的侧表面固定套接有固定板和限制板，所述固定板通过弹簧与单向管的内部连接，所述限制板的底部与单向管的顶部抵持。

优选的，所述拉杆的顶端固定连接有卡接杆，所述拉杆的底端固定连接有挡盘。

优选的，所述导气管的内部开设有限位槽，所述卡接杆的侧表面与限位槽的内部卡接。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于单晶硅片抛光用的承载台，具备以下有益效果：

1、该用于单晶硅片抛光用的承载台，通过底盘、固定短管、抛光垫、压环、环形胶圈和环形固定盖之间的相互配合，可以先用压环将抛光垫套接在底盘上，此时抛光垫被绷紧，然后再用环形固定盖将压环固定，从而使抛光垫被固定在底盘上，达到了便于快速对抛光垫进行更换的效果，解决了现有的抛光垫更换不便的问题。

2、该用于单晶硅片抛光用的承载台，通过底盘、抽气孔、顶盘、通孔、连通槽、导气管、单向管、拉杆、固定板、限制板、弹簧、挡板、卡接杆和限位槽之间的相互配合，可以将微型抽气泵与导气管连接，将抛光垫与底盘间的空气抽出，达到了使抛光垫与底盘表面紧密贴合的效果，解决了抛光时，抛光垫在研磨过程中可能会出现皱褶的问题。

附图说明

图1为本实用新型正视图；

图2为本实用新型图1中A处放大图；

图3为本实用新型图1中B处放大图；