[实用新型]一种高精度翻转机构有效
申请号: | 202120157583.4 | 申请日: | 2021-01-19 |
公开(公告)号: | CN213878072U | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
发明(设计)人: | 李金全;王立龙;李伟 | 申请(专利权)人: | 天津伍嘉联创科技发展股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/677;H01L41/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300451 天津市滨海新区滨海高新区塘沽海洋科*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高精度 翻转 机构 | ||
本实用新型属于压电晶体自动化设备技术领域,尤其为一种高精度翻转机构,包括丝杆滑台和固定在与其移动端的固定板,所述丝杆滑台的一端固定连接有步进电机,所述步进电机的输出端通过联轴器与所述丝杆滑台传动连接,所述步进电机与外部电源电性连接,所述固定板的一侧固定连接有伺服电机,所述伺服电机的输出端固定连接有双向丝杆;由于是同一个电机控制,两个旋转臂同时相向而行,完成对接动作,左边旋转臂上的晶体通过对接,转移到了右边旋转臂,再由上方步进电机控制向下运动,最终到达转盘上晶体应在位置,并且成功完成了180°翻转的任务,翻转路径设计的紧凑而精密,在保证高精度、高效率的情况下完成翻转180°的动作。
技术领域
本实用新型属于压电晶体自动化设备技术领域,具体涉及一种高精度翻转机构。
背景技术
现在,自动化设备中水平直线运动加旋转运动很常见,用来搬运并旋转产品,通常直线运动由气缸或者电机丝杠实现,旋转运动由旋转气缸或者电机实现,需要两个动力源,在石英晶体生产的过程中,需要保证晶体可以进行180°的翻转,因此需要相关的翻转机构,同时也对石英晶体翻转提出了越来越高的要求,尤其是高精度测试打标编带一体机(双头)面对的晶体尺寸小,而且翻转效率低,精度差,为了改变上述情况,迫切需要研发一种原理实现高效率的翻转。
因此,本领域技术人员提供了一种高精度翻转机构,以解决上述背景技术中提出的问题。
实用新型内容
为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种高精度翻转机构,具有精度高的特点。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种高精度翻转机构,包括丝杆滑台和固定在与其移动端的固定板,所述丝杆滑台的一端固定连接有步进电机,所述步进电机的输出端通过联轴器与所述丝杆滑台传动连接,所述步进电机与外部电源电性连接,所述固定板的一侧固定连接有伺服电机,所述伺服电机的输出端固定连接有双向丝杆,所述固定板远离所述伺服电机的一端侧壁固定连接有两个对称布置的翻转安装板,两个所述翻转安装板的输出端均安装有旋转臂,所述双向丝杆上传动连接有两个对称布置的螺母转接,两个所述螺母转接分别与两个所述翻转安装板的输入端连接,所述丝杆滑台远离所述步进电机的一端固定连接有翻转安装底板,所述翻转安装底板远离所述丝杆滑台的一端固定连接有两个对称布置的电磁阀,两个所述旋转臂分别通过管道、所述电磁阀与外部控制气源连接。
优选的,所述翻转安装底板靠近所述丝杆滑台的一端固定连接有翻转立板。
优选的,所述翻转安装底板靠近所述丝杆滑台的一端还固定连接有限位件,所述限位件位于所述翻转立板的右侧。
优选的,所述翻转安装底板靠近所述电磁阀的一端固定连接有两个真空表,两个所述真空表分别与两个所述电磁阀串联。
优选的,所述固定板远离所述伺服电机的一端固定连接有轴承,所述双向丝杆与所述轴承的内壁固定连接。
优选的,所述限位件的顶面与所述固定板的顶面平齐。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、实现180°翻转的要求,并保证了高精度,可顺利实现产品180°翻转的功能,而且工艺的全部要求可以稳定地实现,本结构翻转精度高,原因可以说是采用了伺服电机同时控制两个旋转臂,通过一个电机,控制两个旋转臂张开闭合所走的距离,而且由于是同一个电机控制,两个旋转臂的运动可以保持同时性,从而极大地提高了晶体产品在旋转过程中的精度;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造