[实用新型]一种导流盘安装治具

说明书

本实用新型涉及干蚀刻机技术领域，具体公开了一种导流盘安装治具，该导流盘安装治具包括支撑架、定位组件与支撑部，其中，支撑架为环形；定位组件设于支撑架，定位组件被配置为当导流盘安装到上腔体基座时对导流盘进行定位；支撑部固设于支撑架，支撑部用于供使用者抓持以转移导流盘安装治具，支撑部还用于支撑导流盘安装治具。本实用新型的定位组件能够控制导流盘与上腔体基座之间的缝隙，在导流盘安装过程能够控制导流盘与上腔体基座之间各处的缝隙一致，确保了导流盘安装位置准确的同时，缩短了反复拆装校准时间，提高工作效率，在维修保养时，还能减少人员技术不同对安装质量的差异。

技术领域

本实用新型涉及干蚀刻机技术领域，尤其涉及一种导流盘安装治具。

背景技术

干蚀刻机台在电浆反应过程中所产生的高分子聚合物，虽然大部份会经由排气系统排出，但仍有少量的高分子聚合物会附着在反应腔体内，并且不断的生成堆积。如图1所示，上腔体基座100内的导流盘200主要是导引气体流动，若导流盘200孔洞堵塞则会造成电浆场均匀性不佳，因此，设备保养时需将导流盘200拆卸下来加以请洁。

目前，安装导流盘200时通过目视方式将导流盘200中的连接孔与上腔体基座100的连接孔对准，再以螺丝加以固定，搭配间隙规反复校准，以确保导流盘200与上腔体基座100之间的各处间隙均相等。该方法通过目视方式对准，误差大，安装过程费时费力。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种导流盘安装治具，以解决相关技术中安装导流盘过程误差大、费时费力的问题。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种导流盘安装治具，该导流盘安装治具包括：

支撑架，所述支撑架为环形；

定位组件，所述定位组件设于所述支撑架，所述定位组件被配置为当导流盘安装到上腔体基座时对所述导流盘进行定位；

支撑部，所述支撑部固设于所述支撑架，所述支撑部用于供使用者抓持以转移所述导流盘安装治具，所述支撑部还用于支撑所述导流盘安装治具。

作为一种导流盘安装治具的优选方案，所述定位组件包括定位块，所述定位块能插入所述导流盘与所述上腔体基座的缝隙，以控制所述导流盘与所述上腔体基座的相对位置。

作为一种导流盘安装治具的优选方案，所述定位块包括第一定位面、第二定位面与限位部，所述第一定位面用于与所述导流盘的外周面抵接，所述第二定位面用于与所述上腔体基座的内壁抵接，所述限位部用于限制所述定位块插入所述缝隙的深度。

作为一种导流盘安装治具的优选方案，所述定位块还包括导向部，所述导向部用于引导所述定位块插入所述导流盘与所述上腔体基座的缝隙。

作为一种导流盘安装治具的优选方案，所述导向部为设于所述定位块远离所述支撑架方向的一端的倒角。

作为一种导流盘安装治具的优选方案，所述定位块的数量至少为两个，至少两个所述定位块均布于所述支撑架。

作为一种导流盘安装治具的优选方案，所述定位块与所述支撑架可拆卸连接。

作为一种导流盘安装治具的优选方案，所述支撑架包括第一连接部，所述定位块还包括第二连接部，所述第一连接部与所述第二连接部可拆卸连接。

作为一种导流盘安装治具的优选方案，所述第一连接部设有安装孔，所述支撑架还包括贯穿所述安装孔的螺纹孔，所述第二连接部为插销，所述第一连接部与所述第二连接部的连接关系为插接，所述定位组件还包括固紧螺钉，紧固螺钉穿过所述螺纹孔且能与所述插销抵接。

作为一种导流盘安装治具的优选方案，所述定位块的材质为工程塑料。

本实用新型的有益效果为：