[实用新型]一种单晶炉套筒装置和单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉套筒装置，其特征在于，包括：套筒和桶形导流板，所述桶形导流板的底部开设有拉晶口，所述套筒设置于所述桶形导流板的内部，所述套筒包括导流筒和直壁筒，所述导流筒的上内壁面呈倒锥形，所述导流筒的下内壁面呈与所述直壁筒的外侧面相适配的圆柱形，所述直壁筒穿设于所述导流筒内与所述导流筒的下内壁面密封连接，且所述直壁筒与所述拉晶口贯通。

2.根据权利要求1所述的单晶炉套筒装置，其特征在于，所述导流筒包括内筒、外筒和环形底盘，所述内筒呈倒锥形，所述内筒设置于所述外筒内，所述内筒的上端与所述外筒的上端连接，所述外筒的下端与所述环形底盘的外缘部密封连接，所述内筒的下端与所述环形底盘的上表面固定连接，所述直壁筒穿设固定于所述环形底盘的环口内。

3.根据权利要求2所述的单晶炉套筒装置，其特征在于，所述内筒、所述外筒和所述环形底盘之间围合形成的空腔内设置有第一填充体和第二填充体，所述第一填充体位于所述第二填充体的上方，所述第一填充体为导热填充体，所述第二填充体为隔热填充体。

4.根据权利要求2所述的单晶炉套筒装置，其特征在于，所述直壁筒的外侧面形成有第一凸环，所述第一凸环密封搭设于所述环形底盘的上表面。

5.根据权利要求2所述的单晶炉套筒装置，其特征在于，所述环形底盘的外缘部形成有第一螺纹，所述外筒的下端形成有第二螺纹，所述环形底盘和所述外筒通过所述第一螺纹和所述第二螺纹实现螺纹配合连接。

6.根据权利要求2所述的单晶炉套筒装置，其特征在于，所述内筒为石墨内筒，所述外筒为石墨外筒。

7.根据权利要求1所述的单晶炉套筒装置，其特征在于，所述直壁筒的下端部设置有外螺纹，所述桶形导流板的拉晶口内设置有内螺纹，所述直壁筒和所述桶形导流板之间通过所述外螺纹和所述内螺纹实现螺纹配合连接。

8.一种单晶炉，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的单晶炉套筒装置。

9.根据权利要求8所述的单晶炉，其特征在于，还包括石墨坩埚和石英坩埚，所述石英坩埚设置于所述石墨坩埚内，所述单晶炉套筒装置设置于所述石英坩埚的正上方。