[实用新型]一种芯片检测设备有效
申请号: | 202120172662.2 | 申请日: | 2021-01-21 |
公开(公告)号: | CN214747807U | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 李世峰 | 申请(专利权)人: | 深圳芯舍科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01N21/88 |
代理公司: | 深圳冀深知识产权代理有限公司 44597 | 代理人: | 张玺 |
地址: | 518000 广东省深圳市坪山区坪山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 检测 设备 | ||
1.一种芯片检测设备,其特征在于,包括:
芯片承载机构,包括芯片承载台以及芯片传送单元,所述芯片传送单元与所述芯片承载台连接以带动所述芯片承载台在工作台面上移动;
视觉检测机构,包括相机以及相机传送单元,所述相机传送单元与所述相机连接以带动所述相机在所述芯片承载台上方移动;
控制单元,与所述相机连接以采集并分析处理所述相机获取的芯片图像信息,还与所述芯片传送单元以及所述相机传送单元连接以控制所述芯片传送单元与所述相机传送单元同步移动。
2.如权利要求1所述的芯片检测设备,其特征在于,所述芯片检测设备还包括显示单元,所述控制单元与所述显示单元连接以控制所述显示单元显示检测结果。
3.如权利要求1所述的芯片检测设备,其特征在于,所述芯片传送单元包括平行设置的两根X轴移动支架、与两根所述X轴移动支架连接的Y轴移动支架,以及可移动连接于所述Y轴移动支架上的第一滑块,所述芯片承载台设置于所述第一滑块上。
4.如权利要求3所述的芯片检测设备,其特征在于,所述相机传送单元包括垂直于所述工作台面设置的Z轴移动支架,以及可移动连接于所述Z轴移动支架上的第二滑块,所述相机设置于所述第二滑块上。
5.如权利要求4所述的芯片检测设备,其特征在于,所述X轴移动支架、所述Y轴移动支架以及所述Z轴移动支架均为滚珠丝杠,所述第一滑块套设于所述Y轴移动支架上,所述第二滑块套设于所述Z轴移动支架上。
6.如权利要求5所述的芯片检测设备,其特征在于,所述X轴移动支架、所述Y轴移动支架以及所述Z轴移动支架分别连接有电机。
7.如权利要求1所述的芯片检测设备,其特征在于,所述视觉检测机构还包括照明单元,所述照明单元包括设置于所述相机上方的环形光源,以及与所述环形光源电性连接的光源调节器。
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