[实用新型]一种探针台温度控制系统

权利要求书

1.一种探针台温度控制系统，其特征在于：包括晶圆卡盘机构、冷水机、温控机、计算机和控制软件，所述晶圆卡盘机构包括晶圆卡盘、水冷盘机构和加热盘机构，所述晶圆卡盘用于固定待测试晶圆，所述晶圆卡盘内设置有若干温度传感器，所述冷水机为所述水冷盘机构提供循环冷媒介质实现制冷模式，所述温控机控制所述加热盘机构加热实现加热模式，所述计算机用于运行所述控制软件和采集所述温度传感器的数据、并分别与所述冷水机和所述温控机相互通讯；所述控制软件通过所述计算机驱动所述冷水机和所述温控机工作、并通过温度控制逻辑控制所述晶圆卡盘的温度。

2.如权利要求1所述的一种探针台温度控制系统，其特征在于：所述晶圆卡盘机构从上之下依次设置有晶圆卡盘(1)、陶瓷板(2)、所述水冷盘机构(3)、所述加热盘机构(4)、压合板(5)、隔热板(6)和气冷盘机构(7)，所述水冷盘机构(3)、所述加热盘机构(4)、所述压合板(5)、所述隔热板(6)和所述气冷盘机构(7)通过防护圈(9)包裹。

3.如权利要求2所述的一种探针台温度控制系统，其特征在于：所述晶圆卡盘(1)、所述陶瓷板(2)、所述水冷盘机构(3)、所述加热盘机构(4)和所述压合板(5)相互紧密贴合，所述隔热板(6)和所述气冷盘机构(7)紧密贴合，所述水冷盘机构(3)通过若干隔热垫圈(8)将所述加热盘机构(4)与所述隔热板(6)悬空隔离。

4.如权利要求3所述的一种探针台温度控制系统，其特征在于：所述若干隔热垫圈(8)成环形布置在所述水冷盘机构(3)下方，所述加热盘机构(4)和所述压合板(5)设置在所述若干隔热垫圈(8)内侧。

5.如权利要求2所述的一种探针台温度控制系统，其特征在于：所述晶圆卡盘(1)下表面开有若干同心圆环形真空管路(101)，每个真空管路(101)内均规则开有若干上下贯通的真空吸附孔(102)，所述晶圆卡盘(1)侧边开有若干真空孔(103)，所述若干真空孔(103)分别与若干环形真空管路(101)导通，所述若干真空孔(103)通过管路连接真空装置，所述真空装置通过动力抽气装置进行抽气，通过所述真空孔(103)在所述环形真空管路(101)内形成负压并通过所述若干真空吸附孔(102)将放置在所述晶圆卡盘(1)上表面的所述待测试晶圆吸附固定。

6.如权利要求2所述的一种探针台温度控制系统，其特征在于：所述水冷盘机构(3)包括水冷盘(301)，所述水冷盘(301)内开有冷却管路(302)，所述冷却管路(302)分别通过进液接口(304)和出液接口(305)管路连接所述冷水机，所述冷水机为所述冷却管路(302)提供循环冷媒介质。

7.如权利要求6所述的一种探针台温度控制系统，其特征在于：所述冷却管路(302)通过纵横开孔在所述水冷盘(301)内形成若干栅格冷却管路。

8.如权利要求2所述的一种探针台温度控制系统，其特征在于：所述气冷盘机构(7)包括气冷盘底(701)和气冷盘盖(702)，所述气冷盘底(701)上表面开有环形气冷流道(703)，所述气冷流道703通过所述气冷盘盖(702)密封在所述气冷盘机构(7)内，所述环形气冷流道(703)分别通过进气孔(704)和出气孔(705)管路连接风机。

9.如权利要求2-8任一权利要求所述的一种探针台温度控制系统，其特征在于：所述晶圆卡盘(1)通过若干限位片(10)与所述防护圈(9)限位固定。

10.如权利要求9所述的一种探针台温度控制系统，其特征在于：所述防护圈(9)上设置有固定架(11)，所述固定架(11)用于所述温度传感器和所述加热盘机构导线的规整固定。