[实用新型]一种应用于光电器件测试的光路集成装置

说明书

本实用新型涉及一种应用于光电器件测试的光路集成装置。包括分光片安装件，分光片安装件内设置有第一光路和第二光路，第一光路垂直贯通分光片安装件，第二光路与第一光路导通，第一光路与第二光路连通处倾斜设置有分光片；第一光路出口处固定有相机适配器，相机适配器内设置有相机适配镜头，第一光路入口处固定有显微镜连接件，第二光路出口处固定有CCD安装件；位于分光片下端的分光片安装件上分别插入有衰减片夹具和滤波片夹具。通过分光片的透射和反射将光源分为两路，一路通过相机接收成像，另一路通过CCD接收成像，同时在分光片下方设置有拔插式滤波片夹具和衰减片夹具等光路配件，解决原有单路测试存在的弊端，提高测试效率和测试结果。

技术领域

本实用新型涉及半导体测试装置领域，具体涉及一种应用于光电器件测试的光路集成装置。

背景技术

晶圆测试中需要通过显微镜观察探针或者探卡等，在现有技术中，通常是利用一个具有若干探针的晶圆测试卡，将所述晶圆测试卡的探针与晶圆的集成电路进行接触，向所述集成电路施加测试信号，以判断其电学性能是否良好。

由于不同晶圆上器件不同，测试环境和测试方式也会不同，在RF光电测试和DC光电测试中，向待测芯片施加特定光信号，芯片因其本身光电效应，测试数据会相应改变。同时因光源的施加，器件反射光与相机或CCD成像所需光波有差异，故需通过滤波片、衰减片等光路配件调整。

现有技术中测试光路单一，不同器件、不同波段光源的测试环境下，光路切换时需要更换不同的光路配件，并且在更换光路配件时会在一定程度上改变测试环境，影响测试效率和准确性，增加时间成本，而且光路配件更换繁琐不方便。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种光路配件替换简单、兼容性强，且集成两路光路测试的光电器件测试装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种应用于光电器件测试的光路集成装置，包括分光片安装件，所述分光片安装件内设置有第一光路和第二光路，所述第一光路垂直贯通所述分光片安装件，所述第二光路与所述第一光路导通，所述第一光路与所述第二光路连通处倾斜设置有分光片；所述第一光路出口处固定有相机适配器，所述相机适配器内设置有相机适配镜头，所述第一光路入口处固定有显微镜连接件，所述第二光路出口处固定有CCD安装件；位于所述分光片下端的所述分光片安装件上插入有若干光路配件夹具。

进一步地，所述光路配件夹具包括插入有衰减片夹具和滤波片夹具。

进一步地，所述第二光路为L形光路，所述L形光路的拐点处倾斜设置有反光镜，所述反光镜与所述分光片平行设置。

进一步地，所述L形光路的拐点处通过螺丝固定有反光镜安装件，所述反光镜安装在所述反光镜安装件内。

优选的，所述分光片与水平线的倾斜角度成45°。

进一步地，所述分光片安装件包括第一分光片安装件和第二分光片安装件，所述第一分光片安装件与所述第二分光片安装件通过螺丝固定，所述第二分光片安装件与所述第一分光片安装件的连接处开槽并安装有所述分光片。

进一步地，所述相机适配器上端连接相机，所述CCD安装件上端连接CCD光学模组，所述显微镜连接件下端连接显微物镜。

本实用新型的有益效果是：

通过分光片的透射和反射将光源分为两路，一路通过相机接收成像，另一路通过CCD光学模组接收成像，同时在分光片下方设置有拔插式滤波片夹具和衰减片夹具等光路配件，解决原有单路测试存在的弊端，提高测试效率和测试结果。

附图说明

图1为本实用新型剖面结构图；

图2为图1中隐藏部分结构的剖面图；

图3为本实用新型的立体结构图；