[实用新型]一种样品托、样品托组件及等离子体化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种样品托，其特征在于，所述样品托包括样品托本体及导热凸台，所述导热凸台设置在所述样品托本体底面的中部；所述样品托本体底面上还设置有环形槽，所述环形槽围绕所述凸台延伸。

2.根据权利要求1所述的样品托，其特征在于，所述样品托本体底面上设置有多个所述环形槽，由外向内多个所述环形槽的宽度或/和深度逐渐减小。

3.根据权利要求1所述的样品托，其特征在于，所述样品托本体的底面为圆形面，所述底面的边缘设置有环形凸部。

4.根据权利要求1所述的样品托，其特征在于，所述样品托本体为回转体，所述样品托本体的母线包括内凹曲线。

5.一种样品托组件，其特征在于，所述样品托组件包括基底及权利要求1-4任一项所述的样品托，所述基底上设置有安装凹槽，所述样品托安装在所述安装凹槽中。

6.根据权利要求5所述的样品托组件，其特征在于，所述基底设置有冷却通道。

7.根据权利要求6所述的样品托组件，其特征在于，所述冷却通道为螺旋形。

8.根据权利要求5所述的样品托组件，其特征在于，还包括过渡托，所述过渡托为圆形板状结构，所述过渡托设置在所述基底与所述样品托本体之间。

9.根据权利要求5所述的样品托组件，其特征在于，所述基底采用无氧铜材质。

10.一种等离子体化学气相沉积设备，其特征在于，包括权利要求1至4任一项所述的样品托或权利要求5-9任一项所述的样品托组件。