[实用新型]电子级氟甲烷的新型制备装置

说明书

本实用新型提供了一种电子级氟甲烷的新型制备装置，包括：反应罐包括：中空罐体、可拆卸设置于所述中空罐体顶部的顶盖、可拆卸设置于所述中空罐体底部的底盖、分别设置于所述中空罐体以及所述顶盖之间和所述中空罐体以及所述底盖之间的隔板、贯穿设置于所述隔板之间的催化剂列管，设置于所述顶盖的气体物料进口，设置于所述底盖的物料出口；加热单元，包括设置于所述中空罐体底部的热媒管道进口、设置于所述中空罐体顶部的热媒管道出口、以及设置于所述中空罐体顶部的热媒排气口；测温单元，包括用于测量所述中空罐体顶部、中部以及底部的第一温度传感器、第二温度传感器以及第三温度传感器；测压单元，设置于所述顶盖中。

技术领域

本实用新型涉及一种电子级氟甲烷的新型制备装置。

背景技术

一氟甲烷(CH3F)是一种在常温常压下无毒、可液化的气体，其广泛应用于半导体工业，作为等离子蚀刻材料用于蚀刻硅化合物的薄膜。目前制备一氟甲烷的方法可以通过HF与甲醇反应生成制备。但是，由于HF的腐蚀性较大，现有技术中并没有提供专用于一氟甲烷连续化工业生产的设备。

实用新型内容

本实用新型提供了一种电子级氟甲烷的新型制备装置，可以有效解决上述问题。

本实用新型是这样实现的：

本实用新型提供一种电子级氟甲烷的新型制备装置，包括：

反应罐包括：中空罐体、可拆卸设置于所述中空罐体顶部的顶盖、可拆卸设置于所述中空罐体底部的底盖、分别设置于所述中空罐体以及所述顶盖之间和所述中空罐体以及所述底盖之间的隔板、贯穿设置于所述隔板之间的催化剂列管，设置于所述顶盖的气体物料进口，设置于所述底盖的物料出口；所述中空罐体的材质外层采用碳钢，内层采用不锈钢304；所述顶盖的材质也采用不锈钢304，所述底盖采用蒙乃尔材质；

加热单元，包括设置于所述中空罐体底部的热媒管道进口、设置于所述中空罐体顶部的热媒管道出口、以及设置于所述中空罐体顶部的热媒排气口；

测温单元，包括用于测量所述中空罐体顶部、中部以及底部的第一温度传感器、第二温度传感器以及第三温度传感器；

测压单元，设置于所述顶盖中。

作为进一步改进的，所述加热单元进一步包括设置于所述中空罐体底部的热媒排净口。

作为进一步改进的，反应罐包括进一步出气罩，罩设于所述气体物料进口，所述出气罩为倒梯形结构，且其两侧边均匀开设有多个开孔。

作为进一步改进的，所述催化剂列管均匀布设于所述中空罐体的中部。

作为进一步改进的，所述催化剂列管包括填充于其中的催化剂颗粒，所述催化剂颗粒由8～10份重量的三氯化铬/活性炭复合物以及50～70份重量的三氯化铝混合而成，且三氯化铬在所述三氯化铬/活性炭复合物中的含量为15～25wt％。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的新型制备装置可以专用于HF与甲醇连续化工业化生产氟甲烷。另外，通过活化的新型催化剂催化 HF与甲醇发生反应，可以显著提高所述HF与甲醇的转化率，其转化率分别可以达到60％及70％以上，从而大大提高原料的利用率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型实施例提供的电子级氟甲烷的新型制备装置的结构示意图。

图2是本实用新型实施例提供的电子级氟甲烷的新型制备装置中部分部件的结构示意图。