[实用新型]一种激光测试装置

权利要求书

1.一种激光测试装置，所述激光测试装置包括积分球，所述积分球的内部呈空心结构并涂有漫反射涂层，其特征在于：所述积分球的一端贯穿设有光束入口，所述光束入口内设有匀光片，VCSEL激光器件照射的VCSEL光束穿过所述匀光片后均匀扩散，所述VCSEL光束在所述积分球内往复反射；所述积分球的另一端贯穿设有光束出口，所述光束出口与所述光束入口相对设置，所述光束出口处设有衰减装置，所述VCSEL光束穿过所述衰减装置照射至光谱分析仪的接收探头。

2.根据权利要求1所述的激光测试装置，其特征在于：所述激光测试装置还包括匀光套筒，所述匀光片设于所述匀光套筒内，所述匀光套筒可拆装的连接至所述光束入口。

3.根据权利要求2所述的激光测试装置，其特征在于：所述匀光套筒在朝向所述积分球的一侧设置有第一外螺纹，所述光束入口内设有第一内螺纹，所述匀光套筒通过所述第一外螺纹旋合固定至所述光束入口内。

4.根据权利要求1所述的激光测试装置，其特征在于：所述匀光片由涂覆有聚酯层的玻璃或聚酯塑料制成，所述VCSEL激光器件照射出的所述VCSEL光束穿过所述匀光片照射至所述积分球内。

5.根据权利要求1所述的激光测试装置，其特征在于：所述匀光片用于调整所述VCSEL激光器件照射出的所述VCSEL光束的光形，并将所述VCSEL光束的光形调整至90-120°。

6.根据权利要求1所述的激光测试装置，其特征在于：所述衰减装置包括至少一件衰减片与散热装置，所述衰减片与所述散热装置热接触，所述积分球内的所述VCSEL光束穿过所述衰减片照射至所述接收探头。

7.根据权利要求6所述的激光测试装置，其特征在于：所述衰减片的数量为三件，三件所述衰减片沿着所述VCSEL光束的照射方向依次排列；所述散热装置包括散热套筒，三件所述衰减片等距间隔的设于所述散热套筒内，所述散热套筒的筒壁内设有中空的散热腔，所述散热套筒的筒壁上开设有冷却液入口与冷却液出口。

8.根据权利要求7所述的激光测试装置，其特征在于：所述散热套筒在朝向所述积分球的一侧设有第二外螺纹，所述光束出口内设有第二内螺纹，所述散热套筒通过所述第二外螺纹旋合固定至所述光束出口内。

9.根据权利要求6所述的激光测试装置，其特征在于：所述衰减片的表面镀有反射膜，所述VCSEL光束穿过所述衰减片后照射至所述接收探头。

10.根据权利要求1-9任一项所述的激光测试装置，其特征在于：所述积分球内设有一漫反射板，所述漫反射板位于所述光束入口与所述光束出口之间，并且所述漫反射板的表面涂有漫反射涂层。