[实用新型]一种改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统

权利要求书

1.一种改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统，其特征在于：所述测量系统包括照明光路、水平运动平台(7)、反射光路、采集光路和计算模块；水平运动平台(7)上能安装被测物(6)，照明光路的入射光部分聚焦至被测物(6)表面，再反射至所述反射光路，再在反射光路上反向射回，并经过反射光路上的分光镜(8)侧向射出反射光路，射向所述采集光路，所述计算模块连接于所述采集光路和所述水平运动平台；其中，照明光路的中心线与反射光路的中心线关于水平运动平台的法线对称，且与水平运动平台均呈夹角θ，且0θ≤θ_max，θ_max为采集光路能接收到光波信号的倾斜临界角。

2.根据权利要求1所述的改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统，其特征在于：所述照明光路包括复色光源(1)、光纤(2)、照明小孔机构(3-1)、第一色散管镜(4-1)和第一聚焦透镜(5-1)；光纤(2)的一端连接到复色光源(1)，另一端朝向照明小孔机构(3-1)上的照明小孔，指向照明小孔后端的第一色散管镜(4-1)；复色光源(1)发出的光通过光纤(2)和照明小孔，成为点光源，点光源的光通过第一色散管镜(4-1)成为准直光，再通过第一聚焦透镜(5-1)成为沿照明光路的中心线依次聚焦的多光束。

3.根据权利要求2所述的改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统，其特征在于：所述第一聚焦透镜(5-1)为平凸透镜。

4.根据权利要求1所述的改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统，其特征在于：所述水平运动平台(7)为二维运动平台，由纵向分移动和横向分移动合成水平方向的运动；测量系统还包括能驱动水平运动平台(7)沿水平横向和水平纵向移动的驱动模块，所述计算模块连接于所述驱动模块。

5.根据权利要求4所述的改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统，其特征在于：所述反射光路包括第二聚焦透镜(5-2)、分光镜(8)、准直镜(9)和角锥棱镜(10)；经过被测物(6)后的反射光依次通过第二聚焦透镜(5-2)、分光镜(8)和准直镜(9)到达角锥棱镜(10)，并在角锥棱镜(10)上反向射回，经过分光镜(8)的反射，侧向射至所述采集光路。

6.根据权利要求5所述的改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统，其特征在于：所述第二聚焦透镜(5-2)为平凸透镜。

7.根据权利要求5所述的改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统，其特征在于：所述准直镜(9)为凸透镜。

8.根据权利要求5所述的改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统，其特征在于：所述采集光路包括：第二色散管镜(4-2)、探测小孔机构(3-2)和彩色相机(11)；从分光镜(8)反射出的光束，依次通过所述第二色散管镜(4-2)、探测小孔机构(3-2)上的探测小孔，到达彩色相机(11)。

9.根据权利要求8所述的改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统，其特征在于：所述计算模块包括计算机(12)，计算机(12)分别连接于所述彩色相机(11)和水平运动平台(7)的驱动机构。