[实用新型]一种能实现在线自清洁的低温等离子体处理装置有效
申请号: | 202120208364.4 | 申请日: | 2021-01-26 |
公开(公告)号: | CN214680959U | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
发明(设计)人: | 綦晓川;刘玉德;冯明山;綦晓舟;陶艳;柏雪婷 | 申请(专利权)人: | 上海聚萨光电科技有限公司 |
主分类号: | B01D53/32 | 分类号: | B01D53/32;B08B7/00;B08B13/00 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 何葆芳 |
地址: | 201600 上海市松江区泖*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 实现 在线 清洁 低温 等离子体 处理 装置 | ||
1.一种能实现在线自清洁的低温等离子体处理装置,包括一可密闭箱体,其特征在于:在所述可密闭箱体的横向穿设有一转轴,在位于可密闭箱体内的转轴上可转动连接有正极固定圆盘和负极固定圆盘,在正极固定圆盘与负极固定圆盘之间穿设有N层放电管,其中N为大于等于2的自然数,每层放电管均是由多个同类放电管以转轴为中心呈360度均布形成,且相邻两层放电管的电性相反;另外,在位于正极固定圆盘外侧和负极固定圆盘外侧的转轴上分别套设有导电板固定座,每个导电板固定座分别与其相邻的可密闭箱体的内壁固定连接;并且,在每个导电板固定座的内侧嵌设有圆弧形导电板,在正极固定圆盘和负极固定圆盘上均穿设有若干能与圆弧形导电板和放电管的导电端同时导电的导电触头。
2.根据权利要求1所述的能实现在线自清洁的低温等离子体处理装置,其特征在于:所述可密闭箱体的顶部设有可开合的密封盖。
3.根据权利要求1所述的能实现在线自清洁的低温等离子体处理装置,其特征在于:在所述可密闭箱体上设有进气口和出气口。
4.根据权利要求1所述的能实现在线自清洁的低温等离子体处理装置,其特征在于:在所述可密闭箱体上设有正极进线口和负极进线口。
5.根据权利要求1所述的能实现在线自清洁的低温等离子体处理装置,其特征在于:在所述可密闭箱体的底部设有清洗液排放口。
6.根据权利要求1所述的能实现在线自清洁的低温等离子体处理装置,其特征在于:所述放电管一端为封闭端,另一端为开口端,导电触头穿设在开口端构成放电管的导电端。
7.根据权利要求1所述的能实现在线自清洁的低温等离子体处理装置,其特征在于:在每个导电板固定座的外侧设有导电接线柱。
8.根据权利要求1所述的能实现在线自清洁的低温等离子体处理装置,其特征在于:正极固定圆盘与负极固定圆盘之间对称设有4根连接杆。
9.根据权利要求1所述的能实现在线自清洁的低温等离子体处理装置,其特征在于:还包括两安装支架,每个安装支架均包括一竖直支撑部,所述竖直支撑部的上端设有90度折弯的上固定部,所述竖直支撑部的下端设有90度折弯的下固定部,每个上固定部与可密闭箱体的一外侧部固定连接,并在每个上固定部固设有一轴承座,所述转轴与两侧的轴承座可转动连接。
10.根据权利要求9所述的能实现在线自清洁的低温等离子体处理装置,其特征在于:还包括一安装底板,两安装支架的下固定部分别固定连接在所述安装底板的两侧。
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