[实用新型]一种硅片激光切割设备

说明书

本实用新型公开了一种硅片激光切割设备，包括载物平台和切割集气外罩，所述切割集气外罩的内部下表面固定安装有载物平台，所述切割集气外罩的内部位于载物平台的上方活动安装有激光切割头安装板，所述激光切割头安装板的表面固定安装有第二安装加强筋，所述第二安装加强筋的表面固定安装有激光切割头，所述激光切割头的上端固定连接有光纤激光器QBH头。本实用新型所述的一种硅片激光切割设备，激光切割头能够将硅片直接切断，并且在切割的过程中通过切割集气外罩充入氮气保护，使得不受热应力影响其完整度，其完整度和切割横截面光洁度达到国标标准，改善了产品对后续制作工艺的影响，从而有效的提高了生产效率及生产产能。

技术领域

本实用新型涉及割设备领域，特别涉及一种硅片激光切割设备。

背景技术

激光切割机是将从激光器发射出的激光，经光路系统，聚焦成高功率密度的激光束，激光束照射到工件表面，使工件达到熔点或沸点，同时与光束同轴的高压气体将熔化或气化金属吹走，随着光束与工件相对位置的移动，最终使材料形成切缝，从而达到切割的目的；然而现有的硅片激光切割设备在使用时存在一定的弊端，在切割使用时，目前行业内所使用的技术，只能用激光将硅片表面划一条痕迹，然后通过人工将多余部分手动掰断，其横截面表面粗糙，对后续生产工艺有很大和破坏性，生产效率低，破损率高。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种硅片激光切割设备，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种硅片激光切割设备，包括载物平台和切割集气外罩，所述切割集气外罩的内部下表面固定安装有载物平台，所述切割集气外罩的内部位于载物平台的上方活动安装有激光切割头安装板，所述激光切割头安装板的表面固定安装有第二安装加强筋，所述第二安装加强筋的表面固定安装有激光切割头，所述激光切割头的上端固定连接有光纤激光器QBH头。

优选的，所述切割集气外罩的内部固定安装有定位切割架，所述激光切割头安装板固定安装于定位切割架上，且通过定位切割架在载物平台的上方移动。

优选的，所述激光切割头安装板的前表面固定安装有第一安装加强筋，所述第一安装加强筋的表面开设有一号连接锁孔，所述一号连接锁孔的数量一共有两个，且均匀排布在第一安装加强筋的表面。

优选的，所述第二安装加强筋的表面开设有二号连接锁孔，所述二号连接锁孔的数量一共为两个，且均匀排布在第二安装加强筋的表面。

优选的，所述激光切割头通过固定螺丝依次穿过一号连接锁孔和二号连接锁孔将第一安装加强筋和第二安装加强筋锁紧固定而与激光切割头安装板固定安装。

优选的，所述切割集气外罩的前表面设有密封门，且密封门的表面嵌设安装有玻璃窗，所述切割集气外罩的一侧表面开设有氮气充气端口。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型中，通过设置的切割集气外罩，激光切割头切割后硅片将直接被切断，并且在切割的过程中通过切割集气外罩充入氮气保护，使得不受热应力影响其完整度，其完整度和切割横截面光洁度达到国标标准，改善了产品对后续制作工艺的影响，从而有效的提高了生产效率及生产产能。

附图说明

图1为本实用新型一种硅片激光切割设备的整体结构示意图。

图中：1、载物平台；2、激光切割头安装板；201、第一安装加强筋；202、一号连接锁孔；3、激光切割头；4、第二安装加强筋；401、二号连接锁孔；5、光纤激光器QBH头；6、切割集气外罩。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。