[实用新型]一种圆形卡盘清洗装置

说明书

本实用新型涉及硬脆材料减薄机的清洗机构，尤其涉及一种圆形卡盘清洗装置。提供一种圆形卡盘清洗装置，包括机架，机架的侧部左右两端分设有左水平气缸和右水平气缸，左水平气缸的活塞杆与左竖直气缸相连，左竖直气缸活塞杆连接电机安装架，电机安装架上设有电机，电机轴连接毛刷；右水平气缸活塞杆与右竖直气缸相连，右竖直气缸活塞杆上连接清洗喷头机架，分流块和清洗水喷头设于清洗喷头机架上。本实用新型所设计的圆形卡盘清洗装置中清洗水喷头可在右水平气缸和右竖直气缸的驱动下沿上、下、左、右四个方向运动至指定位置，清洗水喷头喷出水雾清洗工件，清洗结束后，清洗水喷头运动至初始位置。操作方便。

技术领域

本实用新型涉及硬脆材料减薄机的清洗机构，尤其涉及一种圆形卡盘清洗装置。

背景技术

在硬脆性材料减薄机中，晶圆吸附在卡盘上，磨削过程中产生的粉尘太多会堵塞卡盘上的孔，影响卡盘对晶圆的吸附力，同时，磨削后的晶圆表面会附着磨削下的粉尘。因此需要设计一个卡盘清洗装置清洗晶圆和卡盘表面附着的磨削产生的粉尘。

实用新型内容

本发明要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种圆形卡盘清洗装置。

为解决上述技术问题，本发明采用的解决方案是：

提供一种圆形卡盘清洗装置，包括机架，机架的侧部左右两端分设设有左水平气缸和右水平气缸，左水平气缸的活塞杆与左竖直气缸相连，左竖直气缸活塞杆连接电机安装架，电机安装架上设有电机，电机轴连接毛刷；右水平气缸活塞杆与右竖直气缸相连，右竖直气缸活塞杆上连接清洗喷头机架，分流块和清洗水喷头设于清洗喷头机架上。

作为一种改进，机架上还设有一个水平导轨，左竖直气缸和右竖直气缸均通过滑块与导轨相连，导轨装置对气缸的左右运动起导向作用。

作为一种改进，机架上设有两个缓冲限位器，用于限制左水平气缸和右水平气缸的行程。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型所设计的圆形卡盘清洗装置中清洗水喷头可在右水平气缸和右竖直气缸的驱动下沿上、下、左、右四个方向运动至指定位置，清洗水喷头喷出水雾清洗工件，清洗结束后，清洗水喷头运动至初始位置。毛刷在左水平气缸和左竖直气缸的驱动下沿上、下、左、右四个方向运动至指定位置，刷洗完卡盘后，毛刷运动至初始位置，操作方便。

附图说明

图1为本实用新型的示意图。

附图说明：1-机架；2-导轨；3-左滑块；4-左水平气缸；5-毛刷清洗连接板；6-左竖直气缸；7-电机安装架；8-电机；9-毛刷；10-右水平气缸；11-右滑块；12-清洗喷头连接块；13-右竖直气缸；14-清洗喷头机架；15-分流块；16-清洗水喷头；17-缓冲限位器。

具体实施方式

实施例1

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：

如图1所示，一种圆形卡盘清洗装置，包括机架1，机架1侧部左右两端分设有左水平气缸4和右水平气缸10，左水平气缸4的活塞杆与左竖直气缸6相连，左竖直气缸6活塞杆连接电机安装架7，电机安装架7上设有电机8，电机8轴连接毛刷9；右水平气缸10活塞杆与右竖直气缸13相连，右竖直气缸13活塞杆上连接清洗喷头机架14，分流块15和清洗水喷头16设于清洗喷头机架14上。

机架1上还设有一个水平导轨2，左竖直气缸6通过毛刷清洗连接板5和左滑块3与导轨2相连，右竖直气缸13均通过清洗喷头连接块12和滑块11与导轨2相连，导轨2装置对气缸的左右运动起导向作用。机架1上还设有两个缓冲限位器17，用于限制左水平气缸4和右水平气缸10的行程。