[实用新型]一种真空紫外光源调节支撑架

权利要求书

1.一种真空紫外光源调节支撑架，其特征在于：包括底部支撑、水平调节板、光路方向调节板、垂直调节板、水平轴和垂直轴；其中，所述底部支撑与所述水平调节板相连接，所述底部支撑与所述水平调节板之间安装有水平移动导轨、凸轮轴承随动器和水平轴固定件，所述水平移动导轨数量为2，其中一侧所述水平移动导轨设置有水平板连接件，所述水平板连接件通过所述水平轴固定件和所述水平轴固定连接在所述底部支撑上，水平限位杆设置在所述水平调节板两侧，所述凸轮轴承传动器和滑动轮设置在所述水平调节板和所述水平移动导轨之间；

所述光路方向调节板与所述水平调节板相连接，丝杆导轨滑块设置于所述光路方向调节板和所述水平调节板之间，光路方向限位杆设置在所述光路方向调节板的一端，所述光路方向限位杆与所述水平板连接件相连接；所述垂直调节板通过所述垂直轴与所述光路方向调节板连接，垂直连接件和垂直轴固定件设置在所述垂直调节板和所述光路方向调节板之间，垂直调节杆设置于所述垂直调节板上。

2.根据权利要求1所述的一种真空紫外光源调节支撑架，其特征在于：所述水平轴固定件和所述垂直轴固定件安装有轴套。

3.根据权利要求1所述的一种真空紫外光源调节支撑架，其特征在于：所述水平移动导轨和所述凸轮轴承传动器设置不同的安装角度。

4.根据权利要求1所述的一种真空紫外光源调节支撑架，其特征在于：所述水平限位调节杆的调整角度范围为±1°。

5.根据权利要求1所述的一种真空紫外光源调节支撑架，其特征在于：所述丝杆导轨滑块的滑动距离范围为0～240mm。

6.根据权利要求1所述的一种真空紫外光源调节支撑架，其特征在于：所述垂直调节杆的角度调整范围为±1°。

7.根据权利要求1～6任一所述的一种真空紫外光源调节支撑架，其特征在于：还包括固定件，所述固定件设置于所述底部支撑和所述水平调节板之间以及所述光路方向调节板和所述垂直调节板之间。