[实用新型]一种高分辨SECM探针有效
| 申请号： | 202120232537.6 | 申请日： | 2021-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN214585014U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 沈彩;黄云博;刘兆平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 纪志超 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分辨 secm 探针 | ||
【权利要求书】：
1.一种高分辨SECM探针，包括：
主体支撑结构、悬臂梁、导电纳米针尖和外接导线；
所述导电纳米针尖设置于悬臂梁顶端；
所述悬臂梁与外接导线在主体支撑结构内部相连接；
所述导电纳米针尖的直径≤100nm。
2.根据权利要求1所述的高分辨SECM探针，其特征在于，所述导电纳米针尖的直径为10～100nm。
3.根据权利要求1所述的高分辨SECM探针，其特征在于，所述导电纳米针尖为金属导电纳米针尖。
4.根据权利要求1所述的高分辨SECM探针，其特征在于，所述导电纳米针尖的部分表面设置有绝缘膜。
5.根据权利要求1所述的高分辨SECM探针，其特征在于，所述悬臂梁的表面设置有绝缘层。
6.根据权利要求5所述的高分辨SECM探针，其特征在于，所述悬臂梁下表面的绝缘层表面设置有金属层。
7.根据权利要求5所述的高分辨SECM探针，其特征在于，所述绝缘层的厚度为1～2mm。
8.根据权利要求6所述的高分辨SECM探针，其特征在于，所述金属层的厚度为1～2μm。
9.根据权利要求5所述的高分辨SECM探针，其特征在于，所述绝缘层为环氧树脂层。
10.根据权利要求1所述的高分辨SECM探针，其特征在于，所述导电纳米针尖的部分表面设置有绝缘层。
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