[实用新型]一种新型石英坩埚有效
| 申请号： | 202120233919.0 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN215366053U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 胡昌勇;李勇 | 申请（专利权）人： | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 404040 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 石英 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型石英坩埚，其特征在于：包括石英管和石英帽，石英管上部内壁设置有内螺纹；石英帽包括半圆帽和连接环，半圆帽下端与连接环固定连接，连接环外侧设置有外螺纹，外螺纹与内螺纹配合设置，半圆帽上端固定连接有拉环。
2.根据权利要求1所述的一种新型石英坩埚，其特征在于：所述半圆帽的外壁上设置有氧化硼放置槽。
3.根据权利要求1所述的一种新型石英坩埚，其特征在于：所述外螺纹下方的石英管内壁固定连接有圆环板，圆环板远离石英管内壁的一侧固定连接有圆环柱，圆环板和圆环柱与石英管的内壁之间形成一个凹槽。
4.根据权利要求1所述的一种新型石英坩埚，其特征在于：所述半圆帽、连接环和拉环一体成型。
5.根据权利要求1所述的一种新型石英坩埚，其特征在于：所述拉环的形状为圆环、矩形环、椭圆环、三角环的任一种。
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