[实用新型]用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置有效
| 申请号： | 202120248502.1 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN214862246U | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 刘志强;林德荣;罗浩;张朝春;邱玲;张国聪 | 申请（专利权）人： | 福建德尔科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00;B01D45/12;B01D53/26;C01B17/45 |
| 代理公司： | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人： | 徐东峰 |
| 地址： | 364000 福建省龙岩*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 电子 六氟化硫 制备 水气 自动化 分离 排放 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置，其特征在于，包括顺序连接的气泵(15)、水气分离器(16)、旋风分离器(17)以及冷干机(18)；所述水气分离器(16)的第一排水管(161)高于所述水气分离器(16)的底部设置以形成水封；所述旋风分离器(17)以及所述冷干机(18)设置于所述水气分离器(16)顶部，且所述旋风分离器(17)的第二排水管(171)以及所述冷干机(18)的第三排水管(181)均延伸到所述水气分离器(16)的水封内，以实现所述水气分离器(16)、所述旋风分离器(17)以及所述冷干机(18)的自动化排水。
2.如权利要求1所述的用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置，其特征在于，所述水气分离器(16)中水封的高度为0.4～0.5米。
3.如权利要求1所述的用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置，其特征在于，所述冷干机(18)的底部高于所述旋风分离器(17)的顶部设置，防止逆流。
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