[实用新型]一种用于立式炉的传片系统

说明书

本实用新型公开了一种用于立式炉的传片系统，包括片盒上下料室、缓存片库室、工艺室和传片机械手，片盒上下料室与缓存片库室对接且二者之间设有可连通和隔断的后门，片盒上下料室于后门的前方设有前门，所述缓存片库室与工艺室对接，片盒上下料室内设有承载台，缓存片库室内设有至少一个载片架，工艺室内设有舟架，传片机械手活动于载片架与舟架之间。本实用新型通过设置在片盒上下料室前后两侧设置前门和后门，使得片盒到达片盒上下料室的承载台后，关闭前门和后门，可对封闭在片盒上下料室内的晶片进行清洗工艺，之后再通过传片机械手进行传片的动作，代替人工手动装卸片，具有自动化程度高，能提高生产效率的优点。

技术领域

本实用新型涉及半导体或微电子制造技术领域，尤其涉及一种用于立式炉的传片系统。

背景技术

现有的立式炉很多还是手动装卸晶片方式，在工艺时，缓冲区要充入保护气，而手动装卸片时又要充入空气，等待时间长，晶片也容易被污染，导致设备生产效率低下，不适于大批量大规模的生产。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种自动化程度高、生产效率高的用于立式炉的传片系统。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于立式炉的传片系统，包括片盒上下料室、缓存片库室、工艺室和传片机械手，所述片盒上下料室与缓存片库室对接且二者之间设有可连通和隔断的后门，所述片盒上下料室于后门的前方设有前门，所述缓存片库室与工艺室对接，所述片盒上下料室内设有承载台，所述缓存片库室内设有至少一个载片架，所述工艺室内设有舟架，所述传片机械手活动于载片架与舟架之间。

作为上述技术方案的进一步改进，所述舟架可升降的设于工艺室内。

作为上述技术方案的进一步改进，所述载片架上设有多层置片槽。

作为上述技术方案的进一步改进，所述舟架上设有多层置片槽。

作为上述技术方案的进一步改进，所述片盒上下料室内设有气氛清洗装置。

作为上述技术方案的进一步改进，所述后门设于片盒上下料室上。

作为上述技术方案的进一步改进，所述传片机械手设于缓存片库室内。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本实用新型的用于立式炉的传片系统，通过设置在片盒上下料室前后两侧设置前门和后门，使得片盒到达片盒上下料室的承载台后，关闭前门和后门，可对封闭在片盒上下料室内的晶片进行清洗工艺，之后再通过传片机械手进行传片的动作，代替人工手动装卸片，具有自动化程度高，能提高生产效率的优点。

附图说明

图1是本实用新型用于立式炉的传片系统的结构示意图。

图中各标号表示：

1、片盒上下料室；2、缓存片库室；3、工艺室；4、传片机械手；5、前门；6、后门；7、承载台；8、载片架；9、舟架。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

如图1所示，本实施例的用于立式炉的传片系统，包括片盒上下料室1、缓存片库室2、工艺室3和传片机械手4，片盒上下料室1与缓存片库室2对接且二者之间设有后门6，后门6控制片盒上下料室1与缓存片库室2之间的连通和隔断。片盒上下料室1于后门6的前方设有前门5，缓存片库室2与工艺室3对接并相通，片盒上下料室1内设有承载台7，缓存片库室2内设有至少一个载片架8，工艺室3内设有舟架9，传片机械手4活动于载片架8与舟架9之间。