[实用新型]一种真空抽空速度控制装置

权利要求书

1.一种真空抽空速度控制装置，包括与内部填充液体(2)的待抽空部件(1)通过管道组件连接的真空泵(3)，其特征在于：所述管道组件包括与待抽空部件(1)连接的一级管路(4)和与真空泵(3)连接的抽空管路(5)，所述一级管路(4)与抽空管路(5)之间设置至少一条二级管道(6)，所述二级管道(6)内设置抽速控制部件(7)，所述抽速控制部件(7)外壁与二级管道(6)内壁紧密贴合固定，且其中间形成通孔(8)。

2.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述二级管道(6)的数量大于一时，多条二级管道(6)之间并联设置；所述二级管道(6)两端均设置阀门(11)。

3.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述一级管路(4)与待抽空部件(1)的抽空口处通过法兰(9)连接。

4.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述二级管道(6)与一级管路(4)或抽空管路(5)之间设置连接盘(10)。

5.根据权利要求4所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述连接盘(10)上形成与二级管道(6)数量一致的连接孔，每个连接孔对应连接一条二级管道(6)。

6.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述抽速控制部件(7)设置于二级管道(6)中点位置。

7.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述抽速控制部件(7)为气体流量孔板。

8.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述抽速控制部件(7)与其安装处的二级管道(6)共轴线。

9.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述通孔(8)与其所在处的二级管道(6)共轴线。

10.根据权利要求1所述的真空抽空速度控制装置，其特征在于：所述通孔(8)的直径的平方

式中：γ为空气绝热指数、M为抽空气体的平均摩尔质量、R为理想气体常数，ΔP为压强每秒变化，P为抽空前系统压强，V为被抽空系统体积，T₀为系统温度。