[实用新型]新型真空镀膜控制装置

说明书

本实用新型公开了新型真空镀膜控制装置，包括箱体，箱体顶端的中部固定安装有转动电机，转动电机的输出轴固定设有第一锥形齿轮，箱体的内部设有传动组件，传动组件包括第一传动杆和两个固定杆，两个固定杆均设置在第一传动杆的底部，第一传动杆的两端分别与箱体内壁两侧的顶部转动连接，本实用新型的有益效果是：通过设有转动电机和传动组件，转动电机转动通过第一锥形齿轮与第二锥形齿轮的啮合，两个第三锥形齿轮与两个第四锥形齿轮的啮合，两个第五锥形齿轮与两个第六锥形齿轮的啮合从而带动夹持组件上的基片进行翻面，对其另一面进行镀膜，提高了镀膜的工作效率，通过设有观察窗可以观察箱体内部基片的镀膜情况。

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜控制装置，特别涉及新型真空镀膜控制装置，属于真空镀膜技术领域。

背景技术

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

现有的真空镀膜控制装置，一次仅能对基片的一面进行单面镀膜，想要对其进行双面镀膜，则需破真空，又因基片蒸镀时真空室内温度极高，故需降温取出，再翻面然后重新置入真空腔内，浪费时间较长。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供新型真空镀膜控制装置，以解决上述背景技术中提出的现有的真空镀膜控制装置想要对其进行双面镀膜时，需要破真空降温将基片翻面重新放置的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：新型真空镀膜控制装置，包括箱体，所述箱体顶端的中部固定安装有转动电机，所述转动电机的输出轴固定设有第一锥形齿轮，所述箱体的内部设有传动组件，所述传动组件包括第一传动杆和两个固定杆，两个所述固定杆均设置在第一传动杆的底部，所述第一传动杆的两端分别与箱体内壁两侧的顶部转动连接，所述第一传动杆的中部固定套设有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮的顶端与第一锥形齿轮的一侧啮合，所述第一传动杆的两端分别固定套设有两个第三锥形齿轮，两个所述固定杆的一端分别与箱体内壁两侧的顶部固定连接，两个所述固定杆的另一端分别固定设有两个安装套，两个所述安装套的内部分别转动穿插安装有两个第二传动杆，两个所述第二传动杆的两端分别转动安装有两个第四锥形齿轮和两个第五锥形齿轮，两个所述第四锥形齿轮的外侧分别与两个第三锥形齿轮的底端啮合，所述箱体顶端的一侧固定安装有真空泵，所述真空泵的进口端与箱体的内部连通，所述箱体内壁底端的中部固定安装有蒸发加热器。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述箱体的中部设有夹持组件，所述夹持组件包括两个支撑杆和两个转动杆，两个所述支撑杆的底端分别与箱体内壁底端的两侧固定连接，两个所述支撑杆的顶端分别固定设有两个轴承，两个所述转动杆的一端分别与箱体内壁两侧的中部转动连接，两个所述转动杆的一端分别固定套设有两个第六锥形齿轮，两个所述第六锥形齿轮的顶端分别与两个第五锥形齿轮的外侧啮合，两个所述转动杆的另一端分别转动贯穿两个轴承的内圈，两个所述转动杆的另一端分别固定安装有两个U型框，两个所述U型框的顶端分别穿插设有两个固定螺栓。

作为本实用新型的一种优选技术方案，两个所述固定螺栓的底端固定设有两个橡胶垫。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述箱体的边侧交接有箱门。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述箱体一侧的中部固定设有开关面板，所述开关面板的表面分别固定安装有电机开关、加热器开关和泵机开关，所述转动电机、蒸发加热器和真空泵分别通过电机开关、加热器开关和泵机开关与外接电源电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述箱门的中部嵌设有观察窗。