[实用新型]可调平吸附锁紧治具

说明书

本实用新型公开了一种可调平吸附锁紧治具，包括：通用安装转接板，通用安装转接板为直板件，通用安装转接板的四周设有四个调平螺栓组件，调平螺栓组件将通用安装转接板固定在顶升装置上，通过拧动四个调平螺栓组件以调节通用安装转接板的上表面达到平行；吸附锁紧治具，吸附锁紧治具设于通用安装转接板的上表面，吸附锁紧治具上承载有工件。本实用新型结构简单，通过四个调平螺栓组件对通用安装转接板的四个角落的高度进行调节，进而间接将吸附锁紧治具上的工件调整平行，调平过程便捷，同时避免了调平与工件发生直接干扰。

技术领域

本实用新型属于调平吸附装置技术领域，具体涉及一种可调平吸附锁紧治具。

背景技术

在目前高精度的芯片加工过程中，为提高加工质量和实现高精度、高效率的作业，需要保持芯片在xy平面上保持平行，因此需要对承载芯片的部件进行调平，现有方案通常采用顶丝进行调平，当角度变化时，顶丝的螺纹会产生变形，经常使用会降低调平效果。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型提出一种可调平吸附锁紧治具，该可调平吸附锁紧治具具有调平结果更为平行、调平过程便捷的优点。

根据本实用新型实施例的可调平吸附锁紧治具，包括：通用安装转接板，所述通用安装转接板为直板件，所述通用安装转接板的四周设有四个调平螺栓组件，所述调平螺栓组件将所述通用安装转接板固定在顶升装置上，通过拧动四个调平螺栓组件以调节通用安装转接板的上表面达到平行；吸附锁紧治具，所述吸附锁紧治具设于所述通用安装转接板的上表面，所述吸附锁紧治具上承载有工件。

本实用新型的有益效果是，本实用新型结构简单，通过四个调平螺栓组件对通用安装转接板的四个角落的高度进行调节，进而间接将吸附锁紧治具上的工件调整平行，调平过程便捷，同时避免了调平与工件发生直接干扰。

根据本实用新型一个实施例，所述通用安装转接板沿厚度方向开设有四个细牙螺纹孔，所述调平螺栓组件的一端设于所述细牙螺纹孔内，所述调平螺栓组件的另一端与所述顶升装置相连。

根据本实用新型一个实施例，所述通用安装转接板沿厚度方向开设有四条缝隙，所述缝隙连通所述细牙螺纹孔。

根据本实用新型一个实施例，所述通用安装转接板的四周设有四个水平锁紧螺钉，所述水平锁紧螺钉贯穿所述缝隙，转动所述水平锁紧螺钉以调节所述缝隙的大小，进而调节所述细牙螺纹孔的大小。

根据本实用新型一个实施例，所述水平锁紧螺钉的轴线与所述调平螺栓组件的轴线相垂直。

根据本实用新型一个实施例，所述调平螺栓组件包括：调平件，所述调平件为柱形件，所述调平件的外周缘上设有细牙外螺纹，所述细牙外螺纹与所述细牙螺纹孔相配合，所述调平件上开设有沿厚度方向贯穿的调平孔；球形垫片，所述球形垫片设于所述调平件与所述顶升装置之间；连接件，所述连接件的一端穿过所述调平孔和所述球形垫片后与所述顶升装置相连。

根据本实用新型一个实施例，所述调平孔的上部为六角沉头，所述调平孔的中部为圆柱沉孔,所述连接件的另一端卡设于所述圆柱沉孔内。

根据本实用新型一个实施例，可调平吸附锁紧治具还包括：加热板，所述加热板设于所述通用安装转接板与所述顶升装置之间；隔热板，所述隔热板设于所述加热板与所述顶升装置之间。

根据本实用新型一个实施例，所述吸附锁紧治具包括：本体；多个吸盘，所述多个吸盘间隔开设在所述本体的上表面，所述吸盘上吸附有工件；真空接头，所述真空接头设于所述本体的侧面，所述真空接头与所述多个吸盘相连通。

根据本实用新型一个实施例，所述吸附锁紧治具还包括：补光板，所述补光板设于所述本体的上表面，所述补光板的上表面为镜面。