[实用新型]一种PVD工模刃多弧离子镀膜机

权利要求书

1.一种PVD工模刃多弧离子镀膜机，包括镀膜箱体(1)，其特征在于：所述镀膜箱体(1)的顶部固定连接有冷却箱(2)，所述冷却箱(2)顶部的左侧固定连接有进水箱(3)，所述进水箱(3)的顶部固定连接有进水管(4)，所述进水箱(3)的左侧壁固定连接有冷凝器(5)，所述进水箱(3)的底部固定连接有连通管(6)，所述连通管(6)的底端固定连接有环形管(7)，所述环形管(7)的左右两侧均固定连接有固定块(8)，所述冷却箱(2)的顶部固定连接有鼓风机(9)，所述鼓风机(9)的出口处固定连接有进风管(10)，所述镀膜箱体(1)的内顶壁固定连接有离子源发射器(11)，所述镀膜箱体(1)的右侧固定连接有温度显示器(12)，所述镀膜箱体(1)的内底壁固定连接有镀膜台(13)，所述镀膜箱体(1)的左右两侧壁均固定连接有加热板(14)，所述镀膜箱体(1)的左侧固定连接有真空泵(15)，所述真空泵(15)的出口处固定连接有连接管(16)，所述冷却箱(2)的内侧固定连接有连接漏斗(17)，所述连接漏斗(17)的底部固定连接有进气管(18)，所述进气管(18)的外侧固定安装有电磁阀(19)，所述镀膜箱体(1)的正面活动连接有密封门(20)。

2.根据权利要求1所述的一种PVD工模刃多弧离子镀膜机，其特征在于：所述连通管(6)的底端依次贯穿进水箱(3)、冷却箱(2)和环形管(7)并延伸至环形管(7)的内侧，所述进水管(4)与进水箱(3)相连通。

3.根据权利要求1所述的一种PVD工模刃多弧离子镀膜机，其特征在于：所述进风管(10)的底端贯穿冷却箱(2)并延伸至冷却箱(2)的内侧，所述连接管(16)的右端贯穿镀膜箱体(1)并延伸至镀膜箱体(1)的内侧。

4.根据权利要求1所述的一种PVD工模刃多弧离子镀膜机，其特征在于：所述固定块(8)的数量为两个，两个所述固定块(8)均与冷却箱(2)固定连接，所述温度显示器(12)的左侧固定连接有温度检测杆。

5.根据权利要求1所述的一种PVD工模刃多弧离子镀膜机，其特征在于：所述加热板(14)的数量为两个，所述密封门(20)的正面固定连接有固定抓柄，所述连接漏斗(17)位于环形管(7)的上方。

6.根据权利要求1所述的一种PVD工模刃多弧离子镀膜机，其特征在于：所述进气管(18)的底端依次贯穿冷却箱(2)和镀膜箱体(1)并延伸至镀膜箱体(1)的内侧，所述进气管(18)与连接漏斗(17)相连通。